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本技术公开了一种隔离PECVD放电区的装置，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动...
该专利属于捷造科技（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷造科技（宁波）有限公司授权不得商用。

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