一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器。光学滤波器由可调谐滤波层、薄膜铌酸锂平板、介质埋氧层和衬底层自上而下依次层叠组成，加热电极和反射光栅均分布在波导的两侧，呈周期性排列的反射光栅设置于加热电极和波导之间，通过设置波导的宽度以实现连续体中的束缚态，减少模式泄露带来的侧向泄露损耗，反射光栅用于将泄露到铌酸锂平板中的模式反射回波导进一步实现准连续体中的束缚态，加热电极用于改变反射光栅的有效折射率。本发明专利技术易于加工，容差大，损耗低，能够有效实现低损耗、窄带宽的光子滤波，在物理结构不变的基础上，通过改变加热电极上加载的电压调控滤波器中心波长，可以实现不同反射中心波长的滤波器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电子器件的一种铌酸锂光学滤波器，具体涉及了一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器。

技术介绍

1、随着社会的发展，人们对网络的通信容量、带宽的需求不断提高，而光子集成技术可以将以往通信设备中的光模块器件，如有源、无源器件等，集成于单一光芯片上，具有高集成度、低成本、高容量和大带宽等优势，在下一代的高速光网络发展中发挥重要的作用。

2、目前，也已成功开发出各种超紧凑型硅光子集成器件用于光学互连、光学传感应用，其中硅光滤波器在波分复用系统和光谱传感中都已作为关键器件被广泛使用。传统的基于的光栅型滤波器存在带宽难以超窄、长距离传输损耗大、电极加热效率低、难以实现大范围精确快速的滤波波长调谐等问题。

技术实现思路

1、为了解决上述关键问题，本专利技术提出了一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器，连续体中的束缚态的方法有效抑制波导中模式的超长距离的传输损耗，实现超低损耗、超窄带带宽的可调谐光子滤波器。同时，通过近侧向加热的方式调控反射中心波长的漂移，实现滤波器波长的连续可调。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器，其特征在于：所述的光栅阵列主要由若干个反射光栅(2)沿着波导(1)的长边方向依次均匀间隔排列布设而成，波导(1)、反射光栅(2)和加热电极(3)均放置于在薄膜铌酸锂平板(4)的上表面，介质埋氧层(5)键合于薄膜铌酸锂平板(4)与衬底层(6)之间。

3.根据权利要求1所述的一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器，其特征在于：所述的光学滤波器通过控制波导(1)宽度，以实现准连续体中的束缚态，光学滤波器中波导(1)的宽度W按照...

【技术特征摘要】

1.一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器，其特征在于：所述的光栅阵列主要由若干个反射光栅(2)沿着波导(1)的长边方向依次均匀间隔排列布设而成，波导(1)、反射光栅(2)和加热电极(3)均放置于在薄膜铌酸锂平板(4)的上表面，介质埋氧层(5)键合于薄膜铌酸锂平板(4)与衬底层(6)之间。

3.根据权利要求1所述的一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器，其特征在于：所述的光学滤波器通过控制波导(1)宽度，以实现准连续体中的束缚态，光学滤波器中波导(1)的宽度w按照下式处理得到：

4.根据权利要求1所述的一种基于准连续体中的束缚态薄膜铌酸锂光学滤波器，其特征在于：所述光学滤波器通过控制反射光栅(2)的宽度、以及反射光栅(2)与波导(1)之间的间距，从而反射波导(1)的泄露模式，反射光栅(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈敬业，李杰，赵世，时尧成，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：