一种干涉系统技术方案

本申请公开了一种干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。测量物镜连接于基准座，分光棱镜活动设置于基准座内。第二调节组件活动设置于基准座，第二调节组件包括物镜转动调节件，参考物镜连接于物镜转动调节件，物镜转动调节件的一侧具有旋转弧面，物镜转动调节件能够围绕旋转弧面的圆心转动，并带动参考物镜转动，以调节参考物镜的朝向。物镜转动调节件通过旋转弧面实现了对参考物镜的转动自由度的调节，与传统的利用多个支撑点的位置变化来带动调节板旋转的方案相比，结构更加简洁和紧凑。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光学仪器，具体涉及一种干涉系统。

技术介绍

1、在linnik干涉系统中，主物镜与参考物镜之间光路的对准与光程差控制至关重要。linnik干涉系统在光路进行调节时，通常需要对镜头进行精密的位置调节，一般包括x、y、z、tx，ty等维度的调节，且调节后需要对调好的位置进行固定。除此以外，由于设备空间的局限性，镜头调节装置还应具备紧凑性特点。因此，设计一种结构紧凑的镜头多维调节装置对linnik干涉系统的调试非常重要。

技术实现思路

1、本专利技术的主要目的是提供一种结构紧凑，且能够在多个平移和转动维度上调节镜头的干涉系统。

2、一种实施例中提供一种干涉系统，包括：

3、基准座；

4、测量物镜，所述测量物镜连接于所述基准座；

5、分光棱镜，所述分光棱镜活动设置于基准座内；

6、第一调节组件，所述第一调节组件用于带动所述分光棱镜直线运动，以调节所述分光棱镜的位置，和带动所述分光棱镜转动，以调节所述分光棱镜的朝向；

7、参考物镜；...

【技术保护点】

1.一种干涉系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，第一轴线、第二轴线和第三轴线为空间内相互垂直的三条轴线，所述分光棱镜与所述测量物镜沿所述第一轴线排布，所述分光棱镜与所述参考物镜沿所述第二轴线排布；

3.如权利要求2所述的干涉系统，其特征在于，所述第二调节组件还包括物镜平移调节件，所述物镜平移调节件与所述物镜转动调节件沿所述第二轴线依次设置，所述平移调节件用于带动所述参考物镜沿第一轴线和/或第三轴线平移。

4.如权利要求3所述的干涉系统，其特征在于，所述物镜平移调节件具有相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧设有固定销轴，...

【技术特征摘要】

1.一种干涉系统，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的干涉系统，其特征在于，第一轴线、第二轴线和第三轴线为空间内相互垂直的三条轴线，所述分光棱镜与所述测量物镜沿所述第一轴线排布，所述分光棱镜与所述参考物镜沿所述第二轴线排布；

3.如权利要求2所述的干涉系统，其特征在于，所述第二调节组件还包括物镜平移调节件，所述物镜平移调节件与所述物镜转动调节件沿所述第二轴线依次设置，所述平移调节件用于带动所述参考物镜沿第一轴线和/或第三轴线平移。

4.如权利要求3所述的干涉系统，其特征在于，所述物镜平移调节件具有相对设置的第一侧和第二侧，所述第一侧设有固定销轴，所述第二侧设有两个相对设置的物镜平移精调螺钉；所述物镜平移精调螺钉用于带动所述物镜平移调节件围绕所述固定销轴旋转，以带动所述物镜平移板的中部沿第一轴线和/或第三轴线平移，并定位所述物镜平移精调螺钉。

5.如权利要求3所述的干涉系统，其特征在于，所述物镜平移调节件包括第一物镜平移调节件和第二物镜平移调节件，所述第一物镜转动调节件、第二物镜转动调节件、第一物镜平移调节件和第二物镜平移调节件沿所述第二轴线依次层叠设置；所述第一物镜平移调节件用于带动所述参考物镜沿所述第三轴线平移运动，所述第二物镜平移调节件用于带动所述参考物镜沿所述第一轴线平移运动。

6.如权利要求1所述的干涉系...

【专利技术属性】
技术研发人员：马砚忠，孟鹏飞，皮林立，李希希，曹博，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：