温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种干涉系统，该干涉系统包括基准座、测量物镜、分光棱镜、第一调节组件、参考物镜、第二调节组件、反射镜安装座、参考反射镜和第三调节组件。测量物镜连接于基准座，分光棱镜活动设置于基准座内。第二调节组件活动设置于基准座，第二调节组件包...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。