【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体制造设备，更具体地说，是涉及一种残留键合丝碎屑清理装置。
技术介绍
1、igbt(绝缘栅双极晶体管)作为一种功率半导体器件，广泛应用于轨道交通、智能电网、工业节能、电动汽车和新能源装备等领域，而大部分igbt模块工作电压在650v以上，为满足高压的工作环境，模块必须具有高的绝缘耐压性。但是封装环境中的水汽、杂质离子、金属碎屑会导致igbt模块漏电流增加芯片耐压下降，其中键合后残留的碎屑是影响最大的。另一方面，dbc中氧化铝陶瓷易碎裂，碎裂后肉眼很难观察到，很容易导致模块绝缘耐压能力下降。
2、现有技术中，为减少键合后金属碎屑的处理方法通常是定时清洗劈刀及定时更换导线管，但频繁清洗劈刀与更换导线管费时费力且重复安装劈刀、切刀影响产品键合一致性，另一方面金属碎屑的产生受键合丝弧高弧长影响，不同的打线方式导线嘴、导线管磨损程度不同，产生键合丝碎屑的量也不同，如果只靠清洗劈刀、更换导线嘴等方式无法完全避免键合后金属碎屑的残留。
技术实现思路
1、本技术就是针对现有技术中存在的技术问题，提供一种残留键合丝碎屑清理装置。
2、为解决上述技术问题，为此本技术包括支撑机构及清理系统，清理系统包括粉尘过滤机构和吸附机构，支撑机构包括键合底座，键合底座外周连接有壳体结构，键合底座上连接有工件定位机构，工件定位采用真空负压定位方式，清理系统还包括清屑机构，清屑机构连接在键合底座上，清屑机构包括通气部、出气部，粉尘过滤机构与吸附机构相连通，粉尘过滤机构包括多级过滤组
3、优选的，键合底座包括上下两区域，键合底座的上部区域为工件支撑区，工件支撑区结构与键合工装结构相同，键合底座的下部区域连接有清屑机构，通过清屑机构对底座空间进行吹扫处理。
4、优选的，清屑机构包括通气管，通气管的一端部连接有气源，通气管的另一端部连接有通气槽，通气槽上至少设置有一个通气孔，通气孔设置在键合底座下端。
5、优选的，工件定位机构包括真空泵，真空泵可将壳体结构内腔形成真空腔，真空泵上连接有电磁控制阀和压力监测装置。
6、优选的，清理系统包括控制机构，控制机构与工件定位机构电连接，控制机构设有控制开关，控制开关用于控制清理系统的启闭。
7、优选的，清理系统还包括离子发生器机构，离子发生器机构与壳体结构内部腔体连接。
8、优选的，粉尘过滤机构包括第一过滤组件和第二过滤组件，第二过滤组件设置在第一过滤组件空气流向的后端，第一过滤组件设有网板分离装置，第二过滤组件设有导流装置和粉尘过滤网。
9、优选的，网板分离装置包括多孔过滤板，第二过滤组件包括多个导流板，导流板竖直设置，且导流板上连接有过滤网，导流板与过滤网呈角度设置。
10、优选的，粉尘过滤机构还包括第三过滤组件，第三过滤组件设置在第二过滤组件空气流动后端，第三过滤组件包括吸附分离装置，吸附分离装置由至少一层吸附分子筛构成。
11、优选的，键合底座上设置有多个清理工位，粉尘过滤机构与壳体结构上的出气口相连通。
12、与现有技术相比，本技术具备以下有益效果：
13、本技术清理高效彻底，通过键合底座的适配支撑，减少了dbc拿取次数，降低了dbc陶瓷碎裂几率，同时缩短作业时间，而且通过真空负压的工件定位机构，对工件进行吸附固定，工件吸附更加牢固稳定。本技术在清屑机构及粉尘过滤机构的配合作用下，实现粉尘颗粒的吸附沉积过滤收集，实现dbc键合后残留金属碎屑的彻底清理，并且将洁净空气排出，不会产生二次污染。
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1.一种残留键合丝碎屑清理装置，包括支撑机构及清理系统，所述清理系统包括粉尘过滤机构和吸附机构，其特征在于，所述支撑机构包括键合底座，所述键合底座外周连接有壳体结构，所述键合底座上连接有工件定位机构，所述工件定位采用真空负压定位方式，所述清理系统还包括清屑机构，所述清屑机构连接在所述键合底座上，所述清屑机构包括通气部、出气部，所述粉尘过滤机构与所述吸附机构相连通，所述粉尘过滤机构包括多级过滤组件。
2.根据权利要求1所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述键合底座包括上下两区域，所述键合底座的上部区域为工件支撑区，所述工件支撑区结构与键合工装结构相同，所述键合底座的下部区域连接有清屑机构，通过所述清屑机构对底座空间进行吹扫处理。
3.根据权利要求1所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述清屑机构包括通气管，所述通气管的一端部连接有气源，所述通气管的另一端部连接有通气槽，所述通气槽上至少设置有一个通气孔，所述通气孔设置在所述键合底座下端。
4.根据权利要求1所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述工件定位机构包括真空
5.根据权利要求4所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述清理系统包括控制机构，所述控制机构与所述工件定位机构电连接，所述控制机构设有控制开关，所述控制开关用于控制清理系统的启闭。
6.根据权利要求4所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述清理系统还包括离子发生器机构，所述离子发生器机构与所述壳体结构内部腔体连接。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述粉尘过滤机构包括第一过滤组件和第二过滤组件，所述第二过滤组件设置在所述第一过滤组件空气流向的后端，所述第一过滤组件设有网板分离装置，所述第二过滤组件设有导流装置和粉尘过滤网。
8.根据权利要求7所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述网板分离装置包括多孔过滤板，所述第二过滤组件包括多个导流板，所述导流板竖直设置，且所述导流板上连接有过滤网，所述导流板与所述过滤网呈角度设置。
9.根据权利要求7所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述粉尘过滤机构还包括第三过滤组件，所述第三过滤组件设置在所述第二过滤组件空气流动后端，所述第三过滤组件包括吸附分离装置，所述吸附分离装置由至少一层吸附分子筛构成。
10.根据权利要求1所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述键合底座上设置有多个清理工位，所述粉尘过滤机构与所述壳体结构上的出气口相连通。
...【技术特征摘要】
1.一种残留键合丝碎屑清理装置，包括支撑机构及清理系统，所述清理系统包括粉尘过滤机构和吸附机构，其特征在于，所述支撑机构包括键合底座，所述键合底座外周连接有壳体结构，所述键合底座上连接有工件定位机构，所述工件定位采用真空负压定位方式，所述清理系统还包括清屑机构，所述清屑机构连接在所述键合底座上，所述清屑机构包括通气部、出气部，所述粉尘过滤机构与所述吸附机构相连通，所述粉尘过滤机构包括多级过滤组件。
2.根据权利要求1所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述键合底座包括上下两区域，所述键合底座的上部区域为工件支撑区，所述工件支撑区结构与键合工装结构相同，所述键合底座的下部区域连接有清屑机构，通过所述清屑机构对底座空间进行吹扫处理。
3.根据权利要求1所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述清屑机构包括通气管，所述通气管的一端部连接有气源，所述通气管的另一端部连接有通气槽，所述通气槽上至少设置有一个通气孔，所述通气孔设置在所述键合底座下端。
4.根据权利要求1所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述工件定位机构包括真空泵，所述真空泵可将所述壳体结构内腔形成真空腔，所述真空泵上连接有电磁控制阀和压力监测装置。
5.根据权利要求4所述的一种残留键合丝碎屑清理装置，其特征在于，所述清理系...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宁，刘勇，
申请(专利权)人：烟台台芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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