一种密封性好的真空PLASMA制造技术

技术编号：43579252 阅读：12 留言：0更新日期：2024-12-06 17:45

本技术公开了一种密封性好的真空PLASMA，包括清洗箱；所述清洗箱的内腔中设置有放置板，放置板的表面开设有密封腔，密封腔的内部安装有密封机构；所述密封机构包括有安装腔、气囊一、气囊二和连接管，所述安装腔对称开设在密封腔的槽壁上，安装腔的一侧安装有气囊一，安装腔的另一侧安装有气囊二，气囊一和气囊二的底部安装有连接管；本技术通过在密封腔的内部安装的密封机构，气泵向连接管的内部充气，然后使安装腔内部的气囊一和气囊二变大，通过气囊一和气囊二来弥补PLASMA腔体与密封腔内壁之间的缝隙，从而能够保证PLASMA腔体与放置板表面的密封性，避免外部气体进入至PLASMA腔体的内部影响装置对物体清洗的效果，进而能够进一步提高装置密封效果。

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及plasma清洗，具体为一种密封性好的真空plasma。

技术介绍

1、等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子:未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清选产品表面.以达到清洗目的。

2、当装置在对物料进行清洗时，一般将物料放置到工作台上，然后通过plasma(等离子体)上部腔体下移与工作台接触，然后使plasma上部腔体内部的电极板通电产生的等离子对物料进行清洗，在使用时plasma上部腔体底部与工作台的表面接触时，会通过密封垫对其进行密封，但是密封垫在长期使用的过程中会出现老化的情况，进而会在一定程度上影响装置plasma上部腔体与工作台表面的密封效果。

技术实现思路

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【技术保护点】

1.一种密封性好的真空PLASMA，包括清洗箱(1)；其特征在于：所述清洗箱(1)的内腔中设置有放置板(4)，放置板(4)的表面开设有密封腔(401)，密封腔(401)的内部安装有密封机构(5)；

2.根据权利要求1所述的一种密封性好的真空PLASMA，其特征在于：所述清洗箱(1)的内腔在放置板(4)的两侧对称设置有放置架(11)，清洗箱(1)内腔的后侧设置有取料机构(10)。

3.根据权利要求1所述的一种密封性好的真空PLASMA，其特征在于：所述清洗箱(1)的顶部设置有显示灯(3)，清洗箱(1)的左右两侧对称开设有进料口(2)。