温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种密封性好的真空PLASMA，包括清洗箱；所述清洗箱的内腔中设置有放置板，放置板的表面开设有密封腔，密封腔的内部安装有密封机构；所述密封机构包括有安装腔、气囊一、气囊二和连接管，所述安装腔对称开设在密封腔的槽壁上，安装腔的一侧...
该专利属于苏州佳安自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州佳安自动化科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。