【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针卡制造，具体的是一种探针固定机构及研磨装置。
技术介绍
1、芯片制造过程复杂且投入成本巨大，因此，通常会在后端高频探针卡测试过程中进行晶圆测试，将不合格的晶粒筛除，从而极大地减少后续制造成本，提高研发和生产的效率。探针卡作为测试机和晶圆之间的接口，在晶圆测试中起着十分重要的作用。
2、目前，国内使用的大多数探针卡均来自国外，国内探针卡的研发制造企业较少，因此探针卡的研发对我国芯片和半导体的发展有着巨大的推动作用。为保证探针卡测试结果的准确性，需要观察探针的截面以保证探针结构的完整性，有鉴于此，本专利技术提供了一种探针固定机构及研磨装置。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中的缺陷，本专利技术实施例提供了一种探针固定机构及研磨装置，其可对探针进行可靠夹持，以确保探针在研磨过程中保持稳定，提高探针所研磨截面位置的准确性，从而提高探针截面观察的准确性。
2、本申请实施例公开了：一种探针固定机构，用于对穿设有探针的薄膜进行固定，其包括：
3、安装座，包括相接的第一安装部和第二安装部，所述第一安装部用于与定位机构连接，所述第二安装部用于与研磨机构连接；
4、第一滑座，能沿x向滑动地连接于所述安装座的第一安装部上；
5、第二滑座，能沿y向滑动地连接于所述第一滑座上；
6、第三滑座，能沿y向滑动地连接于所述第二滑座上；
7、第四滑座，能沿x向滑动地连接于所述第三滑座上；
8、旋转座，
9、挡板，连接于所述第四滑座上，用于对所述薄膜上的部分探针进行遮挡。
10、具体地，所述第一安装部具有与所述定位机构连接的第一基准面，所述第二安装部具有与所述研磨机构连接的第二基准面，所述第一基准面和所述第二基准面垂直，所述第二基准面位于所述第一基准面的y向。
11、具体地，所述第一安装部具有第一内腔，所述第一内腔的x向上设有相对地设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一安装部上设有一同时贯穿所述第一侧壁和所述第二侧壁的螺杆，所述第一滑座与所述螺杆螺纹连接，所述第一内腔中设有与所述第一滑座连接的第一导轨。
12、具体地，所述第一滑座具有第二内腔，所述第二内腔中设有用于与所述第二滑座连接的第二导轨，所述第二滑座具有第三内腔，所述第三内腔中设有用于与所述第三滑座连接的第三导轨，所述第三内腔x向的一侧设有第一连接部，所述第三内腔x向的另一侧设有第二连接部，所述第三内腔y向背离所述第二安装部的一侧设有圆弧连接部，所述圆弧连接部设有圆弧沟槽，所述旋转座卡接于所述圆弧沟槽上。
13、具体地，所述旋转座朝向所述圆弧连接部的一侧呈圆弧状，所述圆弧连接部上设有一对相对地设置的腰型通孔，所述腰型通孔贯穿所述圆弧沟槽，每个腰型通孔内穿设一外螺纹定位销，所述外螺纹定位销的一端固接于所述旋转座上、另一端容置于所述腰型通孔内，所述圆弧连接部背离所述第三内腔的一端设有两个螺纹孔，两个螺纹孔分别与两个所述腰型通孔垂直连通，每个螺纹孔内设有用于与对应的外螺纹定位销抵接的螺栓。
14、具体地，所述第一滑座靠近所述第一连接部的一端连接有固定块，所述固定块位于所述第一连接部背离所述第二安装部的一侧，所述第一连接部和所述固定块通过第一千分头和圆头顶柱连接，其中，所述第一连接部设有沉头孔，所述沉头孔包括相连的大径段和小径段，所述第一千分头紧固于所述大径段背离所述小径段的一端，所述圆头顶柱包括相接的第一头部和第一杆部，所述第一头部和至少部分的所述第一杆部位于所述沉头孔的大径段内，至少部分的所述第一杆部贯穿所述沉头孔的小径段并紧固于所述固定块上，所述第一杆部位于所述大径段内的部分的外壁上套设有弹簧。
15、具体地，所述第一千分头与所述沉头孔的大径段连接部位的外壁上套设有第一铜挡圈。
16、具体地，所述第三滑座上固接有连接杆，所述连接杆上安装有轴承，所述轴承内部穿设有转轴，所述第二连接部通过第二千分头和转接器与所述转轴连接，其中，所述第二连接部设有通孔，所述通孔的内径大于所述转接器的外径，所述第二千分头固接于所述通孔背离所述轴承的一端，所述转接器固接于所述第二千分头朝向所述轴承的一端，所述转轴包括相接的第二头部和第二杆部，所述转轴的第二杆部与所述转接器固接，所述第二头部位于所述轴承背离所述转接器的一端。
17、具体地，所述定位机构为显微镜，所述显微镜的物镜设有刻度线，所述研磨机构为离子研磨机，所述刻度线用于对所述探针进行定位，当所述探针固定机构连接于所述离子研磨机时，经所述刻度线定位后的探针沿z向与所述离子研磨机的离子束出口对齐。
18、本申请实施例还公开了：一种探针研磨装置，其包括定位机构、研磨机构以及如本实施例所述的探针固定机构，所述探针固定机构连接于所述定位机构上以对待研磨的探针进行定位，随后探针固定机构连接于所述研磨机构上以进行探针研磨。
19、本专利技术至少具有如下有益效果：
20、1.本实施例的探针固定机构可对探针进行可靠夹持，以确保探针在研磨过程中保持稳定，提高探针所研磨截面位置的准确性。
21、2.本实施例的探针固定机构可在指定探针进行截面研磨时保护其余探针。
22、3.本实施例的第二滑座通过第一连接部与第一滑座连接、第二连接部与第二滑座连接、圆弧连接部与旋转座连接，连接方式巧妙、结构小巧节约空间、调节精度高。
23、4.本实施例通过在显微镜的物镜上设有对探针进行定位的刻度线，并通过安装座的第一安装部和第二安装部将该刻度线的水平位置与研磨机的离子束出口的竖直位置巧妙对应，提高了待研磨探针与离子束出口的定位精确度、降低定位难度。
24、为让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种探针固定机构，用于对穿设有探针的薄膜进行固定，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一安装部具有与所述定位机构连接的第一基准面，所述第二安装部具有与所述研磨机构连接的第二基准面，所述第一基准面和所述第二基准面垂直，所述第二基准面位于所述第一基准面的Y向。
3.根据权利要求1所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一安装部具有第一内腔，所述第一内腔的X向上设有相对地设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一安装部上设有一同时贯穿所述第一侧壁和所述第二侧壁的螺杆，所述第一滑座与所述螺杆螺纹连接，所述第一内腔中设有与所述第一滑座连接的第一导轨。
4.根据权利要求1所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一滑座具有第二内腔，所述第二内腔中设有用于与所述第二滑座连接的第二导轨，所述第二滑座具有第三内腔，所述第三内腔中设有用于与所述第三滑座连接的第三导轨，所述第三内腔X向的一侧设有第一连接部，所述第三内腔X向的另一侧设有第二连接部，所述第三内腔Y向背离所述第二安装部的一侧设有圆弧连接部，所述圆弧连接部设有圆弧沟槽，所述旋转
5.根据权利要求4所述的探针固定机构，其特征在于，所述旋转座朝向所述圆弧连接部的一侧呈圆弧状，所述圆弧连接部上设有一对相对地设置的腰型通孔，所述腰型通孔贯穿所述圆弧沟槽，每个腰型通孔内穿设一外螺纹定位销，所述外螺纹定位销的一端固接于所述旋转座上、另一端容置于所述腰型通孔内，所述圆弧连接部背离所述第三内腔的一端设有两个螺纹孔，两个螺纹孔分别与两个所述腰型通孔垂直连通，每个螺纹孔内设有用于与对应的外螺纹定位销抵接的螺栓。
6.根据权利要求4所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一滑座靠近所述第一连接部的一端连接有固定块，所述固定块位于所述第一连接部背离所述第二安装部的一侧，所述第一连接部和所述固定块通过第一千分头和圆头顶柱连接，其中，所述第一连接部设有沉头孔，所述沉头孔包括相连的大径段和小径段，所述第一千分头紧固于所述大径段背离所述小径段的一端，所述圆头顶柱包括相接的第一头部和第一杆部，所述第一头部和至少部分的所述第一杆部位于所述沉头孔的大径段内，至少部分的所述第一杆部贯穿所述沉头孔的小径段并紧固于所述固定块上，所述第一杆部位于所述大径段内的部分的外壁上套设有弹簧。
7.根据权利要求6所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一千分头与所述沉头孔的大径段连接部位的外壁上套设有第一铜挡圈。
8.根据权利要求4所述的探针固定机构，其特征在于，所述第三滑座上固接有连接杆，所述连接杆上安装有轴承，所述轴承内部穿设有转轴，所述第二连接部通过第二千分头和转接器与所述转轴连接，其中，所述第二连接部设有通孔，所述通孔的内径大于所述转接器的外径，所述第二千分头固接于所述通孔背离所述轴承的一端，所述转接器固接于所述第二千分头朝向所述轴承的一端，所述转轴包括相接的第二头部和第二杆部，所述转轴的第二杆部与所述转接器固接，所述第二头部位于所述轴承背离所述转接器的一端。
9.根据权利要求1所述的探针固定机构，其特征在于，所述定位机构为显微镜，所述显微镜的物镜设有刻度线，所述研磨机构为离子研磨机，所述刻度线用于对所述探针进行定位，当所述探针固定机构连接于所述离子研磨机时，经所述刻度线定位后的探针沿Z向与所述离子研磨机的离子束出口对齐。
10.一种探针研磨装置，其特征在于，包括定位机构、研磨机构以及如权利要求1至9中任一项所述的探针固定机构，所述探针固定机构连接于所述定位机构上以对待研磨的探针进行定位，随后探针固定机构连接于所述研磨机构上以进行探针研磨。
...【技术特征摘要】
1.一种探针固定机构，用于对穿设有探针的薄膜进行固定，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一安装部具有与所述定位机构连接的第一基准面，所述第二安装部具有与所述研磨机构连接的第二基准面，所述第一基准面和所述第二基准面垂直，所述第二基准面位于所述第一基准面的y向。
3.根据权利要求1所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一安装部具有第一内腔，所述第一内腔的x向上设有相对地设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一安装部上设有一同时贯穿所述第一侧壁和所述第二侧壁的螺杆，所述第一滑座与所述螺杆螺纹连接，所述第一内腔中设有与所述第一滑座连接的第一导轨。
4.根据权利要求1所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一滑座具有第二内腔，所述第二内腔中设有用于与所述第二滑座连接的第二导轨，所述第二滑座具有第三内腔，所述第三内腔中设有用于与所述第三滑座连接的第三导轨，所述第三内腔x向的一侧设有第一连接部，所述第三内腔x向的另一侧设有第二连接部，所述第三内腔y向背离所述第二安装部的一侧设有圆弧连接部，所述圆弧连接部设有圆弧沟槽，所述旋转座卡接于所述圆弧沟槽上。
5.根据权利要求4所述的探针固定机构，其特征在于，所述旋转座朝向所述圆弧连接部的一侧呈圆弧状，所述圆弧连接部上设有一对相对地设置的腰型通孔，所述腰型通孔贯穿所述圆弧沟槽，每个腰型通孔内穿设一外螺纹定位销，所述外螺纹定位销的一端固接于所述旋转座上、另一端容置于所述腰型通孔内，所述圆弧连接部背离所述第三内腔的一端设有两个螺纹孔，两个螺纹孔分别与两个所述腰型通孔垂直连通，每个螺纹孔内设有用于与对应的外螺纹定位销抵接的螺栓。
6.根据权利要求4所述的探针固定机构，其特征在于，所述第一滑座靠近所述第一连接部的一端连接有固定块，所述固...
【专利技术属性】
技术研发人员：凌欲豪，于海超，赵梁玉，
申请(专利权)人：强一半导体苏州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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