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本发明公开了一种探针固定机构及研磨装置。探针固定机构包括：安装座，包括相接的第一安装部和第二安装部，第一安装部用于与定位机构连接，第二安装部用于与研磨机构连接；第一滑座，能沿X向滑动地连接于安装座的第一安装部上；第二滑座，能沿Y向滑动地连接...
该专利属于强一半导体（苏州）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体（苏州）股份有限公司授权不得商用。

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