本申请实施例提供了一种微机电系统芯片、控制方法及相关装置，涉及微机电系统技术领域，用于改善相关技术中微镜器件存在的电压‑位移曲线线性度较差的问题。微机电系统芯片包括驱动电路底座和微镜阵列，微镜阵列包括阵列排布的多个微镜器件，微镜器件包括支撑梁、可动平板电极、固定平板电极、可动斥力电极和固定斥力电极。可动平板电极和固定平板电极相对设置，可动平板电极安装在支撑梁上，并在远离驱动电路底座的一侧为微镜；固定平板电极相对于驱动电路底座固定。可动斥力电极和固定斥力电极相对设置，可动斥力电极安装在支撑梁上，固定斥力电极相对于驱动电路底座固定。上述微机电系统芯片可以应用于显示及光通信装置。
【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微机电系统，尤其涉及一种微机电系统芯片、控制方法及相关装置。
技术介绍
1、微机电系统(micro electro-mechanical system，缩写mems)技术是一种基于微电子技术，将电子、机械和光学等功能模块集成为毫米级甚至更小尺寸级系统的技术。采用mems技术制成的装置被称为mems装置，mems微镜芯片是一种典型的mems装置。
2、mems微镜芯片包括阵列排布的多个微镜器件，每个微镜器件均包括微镜和驱动结构，驱动结构驱动微镜扭转或平动，驱动方式包括静电驱动、压电驱动、电磁驱动或者热膨胀力驱动等。其中，静电驱动具有低功耗，制作简单，与集成电路(ic)工艺兼容，响应速度快等优势，在mems微镜芯片领域中较为常见。
3、在相关技术提供的一种采用静电驱动的、平动式微镜器件中，包括支撑梁和平板电极结构，平板电极结构包括相对设置的固定平板电极和可动平板电极，可动平板电极安装在支撑梁上，可动平板电极远离固定平板电极的一侧为微镜。在该微镜器件工作时，可动平板电极通过支撑梁接地，向固定平板电极加载驱动电压，使固定平板电极和本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种微机电系统芯片，其特征在于，所述微机电系统芯片包括驱动电路底座和微镜阵列，所述驱动电路底座包括第一表面，所述微镜阵列设置在所述驱动电路底座中的第一表面上；所述微镜阵列包括阵列排布的多个微镜器件，所述微镜器件包括：
2.根据权利要求1所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述微机电系统芯片还包括在所述第一方向上相对设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极；
3.根据权利要求2所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述可动梳齿电极为梳齿状电极结构，所述固定梳齿电极具有与所述可动梳齿电极对应的电极腔，所述电极腔沿所述第一方向贯穿所述固定梳齿电极；
>4.根据权利要求3...
【技术特征摘要】
1.一种微机电系统芯片，其特征在于，所述微机电系统芯片包括驱动电路底座和微镜阵列，所述驱动电路底座包括第一表面，所述微镜阵列设置在所述驱动电路底座中的第一表面上；所述微镜阵列包括阵列排布的多个微镜器件，所述微镜器件包括：
2.根据权利要求1所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述微机电系统芯片还包括在所述第一方向上相对设置的可动梳齿电极和固定梳齿电极；
3.根据权利要求2所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述可动梳齿电极为梳齿状电极结构，所述固定梳齿电极具有与所述可动梳齿电极对应的电极腔，所述电极腔沿所述第一方向贯穿所述固定梳齿电极；
4.根据权利要求3所述的微机电系统芯片，其特征在于，在向所述驱动电路底座的正投影中，所述可动梳齿电极的形状、所述电极腔的形状和所述第一斥力电极的形状相同。
5.根据权利要求3或4所述的微机电系统芯片，其特征在于，在所述第一方向上，所述第一斥力电极远离所述驱动电路底座的侧面，与所述固定梳齿电极靠近所述驱动电路底座的侧面平齐。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述可动梳齿电极包括垂直交叉相连的两根电极连接杆，还包括在所述电极连接杆上沿长度方向排布的多个梳齿电极，所述梳齿电极垂直于所述电极连接杆。
7.根据权利要求2至6中任一项所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述固定平板电极与所述固定梳齿电极电连接，且共同与所述驱动电路底座电连接。
8.根据权利要求7所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述固定平板电极通过锚点结构安装在所述固定梳齿电极上，所述固定平板电极相对于所述固定梳齿电极远离所述驱动电路底座。
9.根据权利要求7所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述固定平板电极和所述固定梳齿电极同一结构。
10.根据权利要求2至6中任一项所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述固定平板电极与所述固定梳齿电极绝缘隔离，且分别与所述驱动电路底座电连接。
11.根据权利要求10所述的微机电系统芯片，其特征在于，所述固定平板电极通过锚点结构安装在安装基座上，所述安装基座与所述固...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁光辉，孙丰沛，徐景辉，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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