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一种微机电系统芯片、控制方法及相关装置制造方法及图纸
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文档序号:43571608
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本申请实施例提供了一种微机电系统芯片、控制方法及相关装置,涉及微机电系统技术领域,用于改善相关技术中微镜器件存在的电压‑位移曲线线性度较差的问题。微机电系统芯片包括驱动电路底座和微镜阵列,微镜阵列包括阵列排布的多个微镜器件,微镜器件包括支撑...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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