【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体 ，尤其涉及一种管夹阀及半导体刻蚀工艺用温控设备。
技术介绍
1、相关技术例如cn111379878b中，滑阀由有多个阀口的圆筒状套筒，不同直径的阀芯组成。套筒上有不同位置的钻孔，阀芯通过沿轴线方向在套筒内部移动，通过阀芯的轴向移动，配合套筒钻孔的位置及形状，实现阀芯移动量与流体流量的增加量关系达到预期。
2、滑阀的阀芯与套筒之间的密封，需要依靠阀芯外径和套管内径的高精度加工，且阀芯需要在套筒内实现轴向移动，进一步增加了器件的尺寸加工要求。多个通道的流体同时在阀芯和套筒间控制调节，导致在阀芯轴向移动过程中，容易导致不同通道流体之间泄露，影响流量控制效果。且随着滑阀使用，阀芯与套筒之间的磨损，会导致不同通道间串液量增加。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种管夹阀，用以解决现有技术中滑阀结构容易导致不同通道流体之间泄漏的缺陷。
2、本专利技术第二方面的实施例，提供一种半导体刻蚀工艺用温控设备。
3、根据本专利技术第一方面实施例的管夹阀，
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【技术保护点】
1.一种管夹阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的管夹阀，其特征在于，所述软管的数量为三个，且所述软管包括第一软管、第二软管和第三软管，所述第一软管、所述第二软管和所述第三软管之间独立设置，且所述第一软管、所述第二软管和所述第三软管的两两之间设置有间隔。
3.根据权利要求2所述的管夹阀，其特征在于，所述阀芯包括依次设置的第一轴段、第二轴段和第三轴段，在所述阀芯转动过程中，所述第一轴段适于挤压所述第一软管，所述第二轴段适于挤压所述第二软管，所述第三轴段适于挤压所述第三软管。
4.根据权利要求3所述的管夹阀，其特征在于，所述第...
【技术特征摘要】
1.一种管夹阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的管夹阀，其特征在于，所述软管的数量为三个，且所述软管包括第一软管、第二软管和第三软管，所述第一软管、所述第二软管和所述第三软管之间独立设置，且所述第一软管、所述第二软管和所述第三软管的两两之间设置有间隔。
3.根据权利要求2所述的管夹阀，其特征在于，所述阀芯包括依次设置的第一轴段、第二轴段和第三轴段，在所述阀芯转动过程中，所述第一轴段适于挤压所述第一软管，所述第二轴段适于挤压所述第二软管，所述第三轴段适于挤压所述第三软管。
4.根据权利要求3所述的管夹阀，其特征在于，所述第一轴段包括依次连接的第一曲面、第二曲面和第三曲面，且所述第三曲面为半圆形曲面；
5.根据权利要求2所述的管夹阀，其特征在于，所述阀座设置有凸台，所述第一软管、所述第二软管和所述第三软管的一侧抵接于所述凸台，另一...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘紫阳，郑璐，董春辉，曹小康，芮守祯，靳李富，胡文达，王晓波，马贺民，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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