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本发明提供一种管夹阀及半导体刻蚀工艺用温控设备,管夹阀包括阀座、阀芯、至少两个软管,阀芯转动设置于阀座,阀芯设置有多个不同的轴段;且在阀芯转动过程中,阀芯的不同轴段适于分别挤压不同的软管,以调节多个软管的流道截面积,通过控制阀芯的转动角度,...该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种管夹阀及半导体刻蚀工艺用温控设备,管夹阀包括阀座、阀芯、至少两个软管,阀芯转动设置于阀座,阀芯设置有多个不同的轴段;且在阀芯转动过程中,阀芯的不同轴段适于分别挤压不同的软管,以调节多个软管的流道截面积,通过控制阀芯的转动角度,...