本发明专利技术涉及硅片样片腐蚀检测技术领域，尤其是一种硅片样片腐蚀检测设备，包括保护壳体，保护壳体的内侧中部设置有工艺槽，保护壳体的内侧设置有机械手夹持部，保护壳体内设置有若干走线槽，保护壳体内设置有缓冲罐，缓冲罐的一侧设置有机械液体计量部，缓冲罐的另一侧设置有铬酸搅拌槽，铬酸搅拌槽的一侧设置有暂存槽，保护壳体的内侧顶部设置有日照灯，保护壳体的上侧设置有排风阀，保护壳体的一侧设置有控制面板，解决了人工调配溶液，过程繁琐，人工调配安全系数低，容易出错的问题。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片样片腐蚀检测，尤其涉及一种硅片样片腐蚀检测设备。
技术介绍
1、硅片样片腐蚀设备是对光伏及半导体晶圆单晶炉生长工艺后的晶圆硅棒进行腐蚀检测，是一种硅片的检测设备。
2、目前行业采用的是手动实验台进行单片或几片一起检测，这样的检测效率低，不能满足大批量的检测，需要同时检测不同规格的硅片，不同硅片检测的工艺配方不一样，检测的温度，溶液的浓度都是不一样的，现阶段只能通过人工调配溶液，过程繁琐，人工调配安全系数低，容易出错，整个操作过程，都是操作者带好防护用具进行操作，不方便，为此我们提出了一种硅片样片腐蚀检测设备。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片样片腐蚀检测设备，该硅片样片腐蚀检测设备解决了人工调配溶液，过程繁琐，人工调配安全系数低，容易出错的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种硅片样片腐蚀检测设备，包括保护壳体，所述保护壳体的内侧中部设置有工艺槽，所述保护壳体的内侧设置有机械手夹持部，所述保护壳体内设置有若干走线槽，所述保护壳体内设置有缓冲罐，所述缓冲罐的一侧设置有机械液体计量部，所述缓冲罐的另一侧设置有铬酸搅拌槽，所述铬酸搅拌槽的一侧设置有暂存槽，所述保护壳体的内侧顶部设置有日照灯，所述保护壳体的上侧设置有排风阀，所述保护壳体的一侧设置有控制面板。
4、优选的，所述保护壳体内且位于工艺槽的左右两侧分别设置有工位一、工位二。
>5、通过上述技术方案，机械液体计量部向缓冲罐内进行腐蚀液供给，缓冲罐内的液体流向铬酸搅拌槽进行搅拌，然后流到暂存槽内进行存放，再由暂存槽流到工艺槽内，接着将带有晶片的花篮放置在工位一上，利用机械手夹持部将带有晶片的花篮夹持移动到工艺槽内进行腐蚀加工检测，从而提供一个自动化机械夹持运输腐蚀检测的功能。6、优选的，所述保护壳体的前侧设置有若干翻转门一，所述保护壳体的左右两侧均设置有翻转门二，所述保护壳体的后侧分别设置有暂存槽区、配电盘区、表头调压阀区。
7、通过上述技术方案，翻转门一及翻转门二的设置有利于对保护壳体内部进行检修维护。
8、优选的，所述保护壳体的下侧设置有若干支撑脚及万向轮。
9、通过上述技术方案，支撑脚提供一个稳定支撑的功能，万向轮提供一个可便于移动的功能。
10、优选的，所述机械液体计量部包括机架，所述机架的上侧设置有pp板，所述pp板的一侧设置有计量泵，所述计量泵的一侧通过导管连接有球阀一，所述球阀一的一侧设置有压力表，所述计量泵的一侧通过导管连接有泄压阀，所述泄压阀的一侧设置有球阀二，所述球阀二的一侧设置有阻尼器，所述阻尼器的外侧设置有阻尼器固定箍，所述计量泵的一侧通过导管连接有背压阀，所述计量泵的下侧设置有吸入口，所述吸入口的一侧设置有过滤器。
11、通过上述技术方案，可提供一个具有泄压、过滤定量的液体供给功能。
12、优选的，所述机械手夹持部包括拖链，所述拖链设置于保护壳体的内侧底部，所述拖链的上侧设置有箱体，所述箱体内设置有升降电机，所述升降电机的轴端设置有同步带轮，所述同步带轮的一侧设置有滚珠丝杆，所述滚珠丝杆的外侧设置有升降滑块，所述升降滑块的一侧设置有升降杆，所述升降杆的一侧设置有夹爪固定座，所述夹爪固定座的上侧设置有夹爪保护罩，所述夹爪固定座内设置有夹爪轴，所述夹爪轴的一侧设置有夹爪固定板，所述夹爪轴的外侧设置有刮板，所述刮板的下侧设置有花篮，所述刮板的一侧设置有传感器检测座，所述箱体的上侧设置有急停按钮，所述箱体内设置有横移电机，所述箱体内滑动连接有横移滑块。
13、通过上述技术方案，机械手夹持部的设置可提供一个自动夹持移动的功能。
14、优选的，所述工艺槽包括hf槽、铬酸槽一、铬酸槽二、漂洗槽、溢流漂洗槽、切水槽，所述hf槽、铬酸槽一、铬酸槽二、漂洗槽、溢流漂洗槽、切水槽在保护壳体内从右向左依次排布设置。
15、通过上述技术方案，不同洗槽的设置，可以提供不同的检测状态。
16、综上所述本专利技术，机械液体计量部向缓冲罐内进行腐蚀液供给，缓冲罐内的液体流向铬酸搅拌槽进行搅拌，然后流到暂存槽内进行存放，再由暂存槽流到工艺槽内，接着将带有晶片的花篮放置在工位一上，利用机械手夹持部将带有晶片的花篮夹持移动到工艺槽内进行腐蚀加工检测，从而提供一个自动化机械夹持运输腐蚀检测的功能。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，包括保护壳体(1)，所述保护壳体(1)的内侧中部设置有工艺槽(2)，所述保护壳体(1)的内侧设置有机械手夹持部(3)，所述保护壳体(1)内设置有若干走线槽(4)，所述保护壳体(1)内设置有缓冲罐(5)，所述缓冲罐(5)的一侧设置有机械液体计量部，所述缓冲罐(5)的另一侧设置有铬酸搅拌槽(6)，所述铬酸搅拌槽(6)的一侧设置有暂存槽(7)，所述保护壳体(1)的内侧顶部设置有日照灯(8)，所述保护壳体(1)的上侧设置有排风阀(9)，所述保护壳体(1)的一侧设置有控制面板(10)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述保护壳体(1)的前侧设置有若干翻转门一(11)，所述保护壳体(1)的左右两侧均设置有翻转门二(12)，所述保护壳体(1)的后侧分别设置有暂存槽区(13)、配电盘区(14)、表头调压阀区(15)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述保护壳体(1)的下侧设置有若干支撑脚(16)及万向轮(17)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述保护壳体(1)内且位于工艺槽(2)的左右两侧分别设置有工位一(29)、工位二(30)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述机械液体计量部包括机架(18)，所述机架(18)的上侧设置有PP板(19)，所述PP板(19)的一侧设置有计量泵(20)，所述计量泵(20)的一侧通过导管连接有球阀一(21)，所述球阀一(21)的一侧设置有压力表(25)，所述计量泵(20)的一侧通过导管连接有泄压阀(22)，所述泄压阀(22)的一侧设置有球阀二(23)，所述球阀二(23)的一侧设置有阻尼器，所述阻尼器的外侧设置有阻尼器固定箍(28)，所述计量泵(20)的一侧通过导管连接有背压阀(24)，所述计量泵(20)的下侧设置有吸入口(26)，所述吸入口(26)的一侧设置有过滤器(27)。
6.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述机械手夹持部(3)包括拖链(31)，所述拖链(31)设置于保护壳体(1)的内侧底部，所述拖链(31)的上侧设置有箱体(32)，所述箱体(32)内设置有升降电机(33)，所述升降电机(33)的轴端设置有同步带轮(34)，所述同步带轮(34)的一侧设置有滚珠丝杆(35)，所述滚珠丝杆(35)的外侧设置有升降滑块(36)，所述升降滑块(36)的一侧设置有升降杆(37)，所述升降杆(37)的一侧设置有夹爪固定座(38)，所述夹爪固定座(38)的上侧设置有夹爪保护罩(39)，所述夹爪固定座(38)内设置有夹爪轴(310)，所述夹爪轴(310)的一侧设置有夹爪固定板(311)，所述夹爪轴(310)的外侧设置有刮板(312)，所述刮板(312)的下侧设置有花篮(314)，所述刮板(312)的一侧设置有传感器检测座(313)，所述箱体(32)的上侧设置有急停按钮(315)，所述箱体(32)内设置有横移电机(316)，所述箱体(32)内滑动连接有横移滑块(317)。
7.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述工艺槽(2)包括HF槽(201)、铬酸槽一(202)、铬酸槽二(203)、漂洗槽(204)、溢流漂洗槽(205)、切水槽(206)，所述HF槽(201)、铬酸槽一(202)、铬酸槽二(203)、漂洗槽(204)、溢流漂洗槽(205)、切水槽(206)在保护壳体(1)内从右向左依次排布设置。
...
【技术特征摘要】
1.一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，包括保护壳体(1)，所述保护壳体(1)的内侧中部设置有工艺槽(2)，所述保护壳体(1)的内侧设置有机械手夹持部(3)，所述保护壳体(1)内设置有若干走线槽(4)，所述保护壳体(1)内设置有缓冲罐(5)，所述缓冲罐(5)的一侧设置有机械液体计量部，所述缓冲罐(5)的另一侧设置有铬酸搅拌槽(6)，所述铬酸搅拌槽(6)的一侧设置有暂存槽(7)，所述保护壳体(1)的内侧顶部设置有日照灯(8)，所述保护壳体(1)的上侧设置有排风阀(9)，所述保护壳体(1)的一侧设置有控制面板(10)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述保护壳体(1)的前侧设置有若干翻转门一(11)，所述保护壳体(1)的左右两侧均设置有翻转门二(12)，所述保护壳体(1)的后侧分别设置有暂存槽区(13)、配电盘区(14)、表头调压阀区(15)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述保护壳体(1)的下侧设置有若干支撑脚(16)及万向轮(17)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述保护壳体(1)内且位于工艺槽(2)的左右两侧分别设置有工位一(29)、工位二(30)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片样片腐蚀检测设备，其特征在于，所述机械液体计量部包括机架(18)，所述机架(18)的上侧设置有pp板(19)，所述pp板(19)的一侧设置有计量泵(20)，所述计量泵(20)的一侧通过导管连接有球阀一(21)，所述球阀一(21)的一侧设置有压力表(25)，所述计量泵(20)的一侧通过导管连接有泄压阀(22)，所述泄压阀(22)的一侧设置有球阀二(23)，所述球阀二(23...
【专利技术属性】
技术研发人员：王金余，杨桦，
申请(专利权)人：无锡奥多尔自动化有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。