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本发明涉及硅片样片腐蚀检测技术领域，尤其是一种硅片样片腐蚀检测设备，包括保护壳体，保护壳体的内侧中部设置有工艺槽，保护壳体的内侧设置有机械手夹持部，保护壳体内设置有若干走线槽，保护壳体内设置有缓冲罐，缓冲罐的一侧设置有机械液体计量部，缓冲罐...
该专利属于无锡奥多尔自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奥多尔自动化有限公司授权不得商用。

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