【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及温度调节，特别涉及一种温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备。
技术介绍
1、等离子体腔室中的非线性负载的阻抗与射频电源的恒定输出阻抗并不相等，故在射频电源和等离子体腔室之间具有严重的阻抗失配，使得传输线上存在较大的反射功率，射频电源产生的功率无法全部输送到等离子体腔室，功率损耗较大。
2、为解决这种问题，通过对射频电源系统中的阻抗匹配网络进行调节，以使匹配网络的阻抗与等离子体腔室中的非线性负载的阻抗之和等于射频电源的阻抗，从而实现阻抗匹配，达到最大的输出功率。
3、但阻抗匹配器的阻抗匹配效果会因为温度过高而下降，导致阻抗匹配器温度过高的因素较多，例如阻抗匹配器长时间连续工作会导致其内部元件逐渐升温，如果散热不及时或散热能力不足，温度会持续上升；或外部环境的温度会直接影响阻抗匹配器的散热效果。在高温环境下，阻抗匹配器的散热能力会下降，导致温度升高。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的是提出一种温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备，旨在解决...
【技术保护点】
1.一种温度调节电路，应用于等离子体产生设备，所述等离子体产生设备包括多个阻抗匹配电路和等离子体腔室，所述等离子体腔室具有用于与所述阻抗匹配电路的输出端电连接的电极，其特征在于，所述温度调节电路包括：
2.如权利要求1所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度检测电路包括：
3.如权利要求2所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度调节电路还包括：
4.如权利要求3所述的温度调节电路，其特征在于，所述第一放大器电路包括：
5.如权利要求3所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度调节电路还包括：
6.如权利要求3所...
【技术特征摘要】
1.一种温度调节电路，应用于等离子体产生设备，所述等离子体产生设备包括多个阻抗匹配电路和等离子体腔室，所述等离子体腔室具有用于与所述阻抗匹配电路的输出端电连接的电极，其特征在于，所述温度调节电路包括：
2.如权利要求1所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度检测电路包括：
3.如权利要求2所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度调节电路还包括：
4.如权利要求3所述的温度调节电路，其特征在于，所述第一放大器电路包括：
5.如权利要求3所述的温度调节电路，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：乐卫平，唐亚海，林伟群，谢幸光，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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