【技术实现步骤摘要】
本技术涉及阻抗匹配，特别涉及一种匹配器及等离子体产生装置。
技术介绍
1、在等离子体腔室的应用中，射频电源负责为等离子体提供能量。然而，由于等离子体腔室内的负载呈现非线性特性，其阻抗与射频电源的恒定输出阻抗往往不相等。这种阻抗失配会导致射频电源与等离子体腔室之间的传输线上产生较大的反射功率，这意味着射频电源产生的功率无法高效地输送到等离子体腔室中，进而造成了显著的功率损耗。
2、对此，需要射频电源系统和等离子体腔室之间设置一个阻抗匹配网络。通过精细调节这个阻抗匹配网络，可以确保匹配网络的阻抗与等离子体腔室中的非线性负载阻抗相结合，实现射频电源与等离子体腔室之间的阻抗匹配，达到最大的输出功率。
3、而现有的射频电源一般包括供电电源、功率放大模块、射频功率检测模块和射频互锁控制模块，供电电源通过整流电路接入市电，整流电路一般包括半桥或全桥驱动电路，半桥或全桥驱动电路根据控制信号的输入，在适当的时机控制上桥臂和下桥臂开关器件的导通与截止。通过精确控制开关的状态，半桥驱动电路可以控制电源电压的输出和输出功率的调节。但由于...
【技术保护点】
1.一种匹配器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述第一电压检测电路包括：
3.如权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述第一电压检测电路包括：
4.如权利要求3所述的匹配器，其特征在于，所述第一滤波电路包括：
5.如权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述第一开关电路包括：
6.如权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述第二开关电路包括：
7.如权利要求1至6任一项所述的匹配器，其特征在于，所述匹配器还包括：
8.如权利要求7所述的匹配器，其特征在于，所...
【技术特征摘要】
1.一种匹配器，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述第一电压检测电路包括：
3.如权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述第一电压检测电路包括：
4.如权利要求3所述的匹配器，其特征在于，所述第一滤波电路包括：
5.如权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述第一开关电...
【专利技术属性】
技术研发人员：乐卫平，唐亚海，姚志毅，杨靖，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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