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本发明公开了一种温度调节电路、阻抗匹配器和等离子体产生装置，涉及温度调节技术领域，其中，温度调节电路包括：多个温度检测电路，每个温度检测电路用于检测对应的阻抗匹配电路的工作温度，并输出相应的温度检测信号；开关电路，开关电路包括多个输入端和一...
该专利属于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市恒运昌真空技术股份有限公司授权不得商用。

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