基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法，涉及半导体运维数据管理技术领域，包括：获取半导体设备中传感器的历史使用数据及从调用传感器数据的记录；确定每个个体的适应度值，通过遗传算法对本地存储模块的存储空间进行初次分配；确定传感器的单位空间利用率，对本地数据存储模块的存储空间进行再分配；将半导体设备中传感器的数据存储到本地数据存储模块和云平台；传感器的数据存储在本地数据存储模块，能够提高数据调用速度，通过遗传算法确定需要存储到本地数据存储模块中的传感器数据，利于找到全局最优解；对传感器数据进行部分存储，节约存储空间；对节约的存储空间进行再分配，进一步提高存储空间的利用率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体运维数据管理，具体为基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法。

技术介绍

1、半导体是电子学中一类重要的材料，它可以在一定条件下导电，而在其他条件下绝缘，半导体在电子设备中有广泛的应用，如集成电路、微处理器等；由于半导体制造过程的复杂性，通常会在半导体设备中安装大量传感器来监测各种工艺参数和设备状态，以确保生产过程的稳定性和产品的高质量；大量传感器生成的数据量可能会非常庞大，尤其是当数据需要保留用于后续分析时；为此，如何合理存储半导体运维数据并为后续分析半导体提供调用服务，成为了一个亟需解决的问题。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、在本专利技术的一个方面，提供基于数据分析的半导体运维数据管理方法，包括：

3、s11，获取半导体设备中传感器的历史使用数据及从本地数据存储模块和云平台调用传感器数据的记录；

4、s12，基于半导体设备中传感器的历史使用数据确定每个个体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，在步骤S12中，所述基于传感器的适应度值通过遗传算法对本地存储模块的存储空间进行初次分配还包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，所述基于半导体设备中传感器的历史使用数据确定每个个体的适应度值还包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，在步骤S13中，所述传感器的单位空间利用率通过以下公式进行确定：

5...

【技术特征摘要】

1.基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，在步骤s12中，所述基于传感器的适应度值通过遗传算法对本地存储模块的存储空间进行初次分配还包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，所述基于半导体设备中传感器的历史使用数据确定每个个体的适应度值还包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，在步骤s13中，所述传感器的单位空间利用率通过以下公式进行确定：

5.根据权利要求4所述的基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，在步骤s13中，所述对本地数据存储模块的存储空间进行再分配还包括以下步骤：

6.根据权利要求5所述的基于数据分析的半导体运维数据管理方法，其特征在于，部分存储还包括以下步骤：

7.基于数据分析的半导体运维数据管理系统，其特征在于，包括：本地数据存储模块、云平台、数据分析模块、数据采集模块；所述数据采集模块的输出端与所述本地数据存储模块和云平台的输入端相连接，通过传感器监测半导体设备的工艺参数和设备状态；所述本地数据存储模块用于存储数据采集模块获取的部分数据，减少对云平台的访问次数；所述云平台用于存储数据采集模块获取的所有数据和数据调用记录；所述数据分析模块与所述本地数据...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦寿杰，杜隽，王腾飞，倪春梅，
申请(专利权)人：无锡星杰测试有限公司，
类型：发明
国别省市：