下载基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法的技术资料

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本发明公开了基于数据分析的半导体运维数据管理系统及方法,涉及半导体运维数据管理技术领域,包括:获取半导体设备中传感器的历史使用数据及从调用传感器数据的记录;确定每个个体的适应度值,通过遗传算法对本地存储模块的存储空间进行初次分配;确定传感器...
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