电磁波检测器和电磁波检测器阵列制造技术

技术编号:43518237 阅读:23 留言:0更新日期:2024-12-03 12:08
电磁波检测器(100)具备热吸收层(HA)、绝缘膜(3)、二维材料层(1)以及第一电极(2a)。热吸收层(HA)包括热电材料层(5)和相变材料层(6)。绝缘膜(3)配置于热吸收层(HA)上的一部分。二维材料层(1)配置于热吸收层(HA)上和绝缘膜(3)上,与热吸收层(HA)电连接。第一电极部(2a)配置于绝缘膜(3)上,经由二维材料层(1)而与热吸收层(HA)电连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及一种电磁波检测器和电磁波检测器阵列


技术介绍

1、作为在下一代的电磁波检测器中使用的电磁波检测层的材料,已知作为二维材料层的一例的石墨烯。石墨烯具有极高的迁移率。石墨烯的吸收率低至2.3%。因此,提出了使用石墨烯作为二维材料层的电磁波检测器中的高灵敏度化方法。

2、例如,在美国专利申请公开2015/0243826号说明书(专利文献1)中提出了具有如下构造的检测器。即,在美国专利申请公开2015/0243826号说明书中,在n型半导体层上设置有2个以上的电介质层。在2个电介质层上以及n型半导体层的位于该2个电介质层之间的表面部分上形成有石墨烯层。连接于石墨烯层的两端的源极/漏极电极配置于电介质层上。栅极电极连接于n型半导体层。

3、在上述检测器中,经由源极/漏极电极对作为沟道的石墨烯层施加电压。其结果,n型半导体层中产生的光载流子被放大,因此检测器的灵敏度提高。另外,在对栅极电极和源极电极或漏极电极施加了电压的情况下,通过石墨烯与n型半导体层的肖特基连接,能够进行off动作。

4、专利文献1:美国专利申请公开2本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电磁波检测器,具备:

2.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

3.根据权利要求2所述的电磁波检测器,其中,

4.根据权利要求3所述的电磁波检测器,其中,

5.根据权利要求3所述的电磁波检测器,其中,

6.根据权利要求4所述的电磁波检测器,其中,

7.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

8.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

9.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

10.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

11.根据权利要求5所述的电...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种电磁波检测器,具备:

2.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

3.根据权利要求2所述的电磁波检测器,其中,

4.根据权利要求3所述的电磁波检测器,其中,

5.根据权利要求3所述的电磁波检测器,其中,

6.根据权利要求4所述的电磁波检测器,其中,

7.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

8.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

9.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

10.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

11.根据权利要求5所述的电磁波检测器,其中,

12.根据权利要求1所述的电磁波检测器,其中,

13.根据权利要求5所述的电磁波检测器,其中,

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【专利技术属性】
技术研发人员:岛谷政彰小川新平岩川学福岛昌一郎
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:发明
国别省市:

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