【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及描绘数据检查方法、描绘方法、描绘装置以及程序。
技术介绍
1、作为电子束描绘装置，例如，已知有使用多射束一次照射较多的射束的多射束描绘装置。多射束描绘装置基于描绘数据进行电子束描绘。在该描绘数据包含曲线状的图形的情况下，为了削减掩模数据量，用作为参数曲线之一的b样条曲线近似该曲线图形。
2、为了栅格化处理的高效化，由b样条曲线制作的曲线图形以在同一图形内不交叉为前提。因此，需要检查在描绘数据的曲线图形内是否存在交叉部位。
3、在检查包含由b样条曲线制作的曲线图形的描绘数据的情况下，根据描绘数据的形状，有时即使在曲线彼此离交叉很远的状况下，也会在检查中判定为不合格。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种能够准确地检查描绘数据的描绘数据检查方法、描绘方法、描绘装置以及程序。
2、本专利技术的一个方式的描绘数据检查方法检查在带电粒子束描绘装置中使用的、由b样条曲线表示图形的描绘数据。该检查方法取得表示形成b样条曲线的第1控制点组的位置的坐标，在检查的过程中计算b样条曲线交叉率，该b样条曲线交叉率表示由具有交叉部位的b样条曲线表示的图形数在图形的总数中所占的比率，在b样条曲线交叉率超过了阈值的情况下，将第1控制点组的坐标转换成贝塞尔曲线的第2控制点组的坐标，判定坐标转换后的图形是否交叉，在b样条曲线交叉率为阈值以下的情况下，基于第1控制点组判定图形是否交叉，在图形交叉的情况下，将第1控制点组的坐标转换成第2控制点组的坐标，判定坐标转换后的图
3、本专利技术的一个方式的描绘方法基于通过上述描绘数据检查方法检查后的描绘数据照射带电粒子束。
4、本专利技术的一个方式的描绘装置检查由b样条曲线表示图形的描绘数据。该描绘装置具备数据检查部，该数据检查部取得表示形成上述b样条曲线的第1控制点组的位置的坐标，在检查的过程中计算表示由具有交叉部位的b样条曲线表示的图形数在上述图形的总数中所占的比率的b样条曲线交叉率，在上述b样条曲线交叉率超过了阈值的情况下，将上述第1控制点组的坐标转换成贝塞尔曲线的第2控制点组的坐标，判定坐标转换后的图形是否交叉，在上述b样条曲线交叉率为阈值以下的情况下，基于上述第1控制点组判定上述图形是否交叉，在上述图形交叉的情况下，将上述第1控制点组的坐标转换成上述第2控制点组的坐标，判定坐标转换后的图形是否交叉。
5、本专利技术的一个方式的程序用于使计算机执行如下处理：取得表示第1控制点组的位置的坐标的处理，该第1控制点组形成表示在带电粒子束描绘装置中使用的描绘数据的图形的b样条曲线；在检查的过程中计算表示由具有交叉部位的b样条曲线表示的图形数在上述图形的总数中所占的比率的b样条曲线交叉率的处理；在上述b样条曲线交叉率超过了阈值的情况下，将上述第1控制点组的坐标转换成贝塞尔曲线的第2控制点组的坐标，判定坐标转换后的图形是否交叉，在上述b样条曲线交叉率为阈值以下的情况下，基于上述第1控制点组判定上述图形是否交叉的处理；以及在上述b样条曲线交叉率为阈值以下的情况下，基于上述第1控制点组判定上述图形是否交叉，在上述图形交叉的情况下，将上述第1控制点组的坐标转换成上述第2控制点组的坐标，判定坐标转换后的图形是否交叉的处理。
6、根据本专利技术，能够缓和描绘数据中包含的曲线图形的形状的限制，并准确地检查描绘数据。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种描绘数据检查方法，检查在带电粒子束描绘装置中使用的、由B样条曲线表示图形的描绘数据，其中，
2.根据权利要求1所述的描绘数据检查方法，其中，
3.一种描绘方法，其中，
4.一种描绘装置，检查由B样条曲线表示图形的描绘数据，其中，
5.一种程序，其中，
【技术特征摘要】
1.一种描绘数据检查方法，检查在带电粒子束描绘装置中使用的、由b样条曲线表示图形的描绘数据，其中，
2.根据权利要求1所述的描绘数据检查方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：安井健一，
申请(专利权)人：纽富来科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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