在片校准件、误差模型生成方法及系统、测试方法及系统技术方案

技术编号:43485808 阅读:26 留言:0更新日期:2024-11-29 16:57
本申请实施例公开了在片校准件、误差模型生成方法及系统、测试方法及系统,其中,在片校准件包括:衬底和设置于衬底上的金属层。其中,金属层包括:多个导电部,通过使多个导电部构成短路校准结构、开路校准结构以及负载校准结构中的至少两种,可使一个在片校准件上具有多种不同的校准结构,提高校准的精确性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及校准,尤其涉及到在片校准件、误差模型生成方法及系统、测试方法及系统


技术介绍

1、矢量网络分析仪(vector network analysar,vna)是测量散射参数(s-parameter,s参数)的常用仪器,通过其测得的s参数可以用来分析链路信息。一般情况下,vna与被测试设备(devise under test,dut)不能直接相连,需要使用一段同轴线或者同轴线加差分探针等中转连接结构,这一部分称为夹具。夹具本身的性能需要从测试结果中去除,这个去除夹具本身性能的过程称为去嵌或者校准。在片测试使用射频差分探针作为夹具,需要将测试参考面从vna的输出端口调整到差分探针的针尖,以便去掉差分探针本身对测试结果的影响。

2、目前常用的校准方法有短路-开路-匹配-直通(short-open-load-through,solt)方法、直通-反射-延时线(through-reflect-line,trl)方法,其对应使用的校准件也有所不同。solt方法仅使用四种校准件:图1a所示的具有短路(short)校准结构sg的短路(short)校准件本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种在片校准件,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的在片校准件,其特征在于,所述多个导电部包括:沿第一方向排列的第一导电部组和第二导电部组,所述第一导电部组包括对应所述信号针的多个第一导电部和对应所述接地针的多个第二导电部;所述第二导电部组包括:对应所述信号针的多个第三导电部和对应所述接地针的多个第四导电部;

3.如权利要求2所述的在片校准件,其特征在于,所述多个第一导电部与所述多个第三导电部一一对应,且相互对应的第一导电部与第三导电部沿所述第一方向排列;

4.如权利要求2或3所述的在片校准件,其特征在于,所述多个第一校准结构与所述多个第二校...

【技术特征摘要】

1.一种在片校准件,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的在片校准件,其特征在于,所述多个导电部包括:沿第一方向排列的第一导电部组和第二导电部组,所述第一导电部组包括对应所述信号针的多个第一导电部和对应所述接地针的多个第二导电部;所述第二导电部组包括:对应所述信号针的多个第三导电部和对应所述接地针的多个第四导电部;

3.如权利要求2所述的在片校准件,其特征在于,所述多个第一导电部与所述多个第三导电部一一对应,且相互对应的第一导电部与第三导电部沿所述第一方向排列;

4.如权利要求2或3所述的在片校准件,其特征在于,所述多个第一校准结构与所述多个第二校准结构一一对应,且相互对应的第一校准结构和第二校准结构相同。

5.如权利要求4所述的在片校准件,其特征在于,相互对应的所述第一校准结构和所述第二校准结构呈镜像对称设置或中心对称设置。

6.如权利要求1所述的在片校准件,其特征在于,所述多个导电部包括:沿第一方向排列的第一导电部组和第二导电部组,所述第一导电部组包括对应所述信号针的多个第一导电部和对应所述接地针的多个第二导电部;所述第二导电部组包括:对应所述信号针的多个第三导电部和对应所述接地针的多个第四导电部;

7.一种在片校准件,其特征在于,包括:

8.如权利要求7所述的在片校准件,其特征在于,所述多个导电部包括:沿第一方向排列的第一导电部组和第二导电部组,所述第一导电部组包括对应所述信号针的多个第一导电部和对应所述接地针的多个第二导电部;所述第二导电部组包括:对应所述信号针的多个第三导电部和对应所述接地针的多个第四导电部;

9.如权利要求8所述的在片校准件,其特征在于,所述第一导电部沿所述第一方向的长度小于对应的所述第三导电部沿所述第一方向的...

【专利技术属性】
技术研发人员:周丁周小军林志烽
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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