一种PVD产线的分片设备制造技术

本技术公开了一种PVD产线的分片设备，包括：进片室，所述进片室连接加热室，在所述进片室与所述加热室之间设置第一门阀，所述加热室连接第一缓冲室，在所述加热室与所述第一缓冲室之间连接第二门阀，所述第一缓冲室连接追片单元，所述追片单元连接工艺室，所述工艺室连接分片单元，所述分片单元连接第二缓冲室，所述第二缓冲室连接冷却室，在所述第二缓冲室与所述冷却室之间设置第三门阀，所述分片单元至少设置两个传感器。本技术的优点是：提高分片功能，使镀膜完成后的载板间距控制在20mm左右。缩短了生产节拍，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及pvd，具体涉及一种pvd产线的分片设备。

技术介绍

1、pvd是指在真空条件下，采用物理方法使材料沉积在基体上的薄膜制备技术，真空磁控溅射法是利用电子束或离子轰击靶材，使其表面原子脱离并沉积到基底上形成薄膜，沉积速率大，生产效率高。在pvd产线中，载板在各个腔室中连续运行，完成镀膜过程，整线一旦开启运行，即使处于等待镀膜的空闲时段，工艺室靶材也会一直处于消耗状态，它的消耗量很大，而且价格高，所以节约靶材的消耗不仅会降低生产成本，而且会减少后续清洗的复杂程度，提高生产效率。

2、从工艺室完成镀膜工艺的载板会以相同的速度进入下一个腔室，而且载板与载板之间的距离很近，而下一工序的腔室每次只能容纳一块载板，所以要把两块载板的距离拉长，并且让它们有不同的运行速度，由此产生了分片单元。分片距离长，等待时间短，工艺节拍紧凑，生产效率高，节约靶材消耗，降低生产成本。目前主流的分片距离只能保持在5-10mm左右，这个间距是由产线的控制系统的分片功能决定的。

技术实现思路

1、本技术提出了一种pvd产线的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PVD产线的分片设备，其特征在于，包括：进片室，所述进片室连接加热室，在所述进片室与所述加热室之间设置第一门阀，所述加热室连接第一缓冲室，在所述加热室与所述第一缓冲室之间连接第二门阀，所述第一缓冲室连接追片单元，所述追片单元连接工艺室，所述工艺室连接分片单元，所述分片单元连接第二缓冲室，所述第二缓冲室连接冷却室，在所述第二缓冲室与所述冷却室之间设置第三门阀，各腔室利用伺服电机传送载板行进，其中，所述进片室、加热室、第一缓冲室、第二缓冲室和冷却室这五个腔室内分别安装A、B、C三个传感器，A传感器安装于所在腔室内前端，用于检测载板开始进入本工位，B传感器安装于所在腔室内后端，用于检测...

【技术特征摘要】

1.一种pvd产线的分片设备，其特征在于，包括：进片室，所述进片室连接加热室，在所述进片室与所述加热室之间设置第一门阀，所述加热室连接第一缓冲室，在所述加热室与所述第一缓冲室之间连接第二门阀，所述第一缓冲室连接追片单元，所述追片单元连接工艺室，所述工艺室连接分片单元，所述分片单元连接第二缓冲室，所述第二缓冲室连接冷却室，在所述第二缓冲室与所述冷却室之间设置第三门阀，各腔室利用伺服电机传送载板行进，其中，所述进片室、加热室、第一缓冲室、第二缓冲室和冷却室这五个腔室内分别安装a、b、c三个传感器，a传感器安装于所在腔室内前端，用于检测载板开始进入本工位，b传感器安装于所在腔室内后端，用于检测载板完全进入本工位，c传感器安装于所在腔室内尾端，用于检测载板开始离开本工位，所述分片单元至少设置d、e两个传感器，其中，所述d传感器位于分片单元的前端，e传感器位于分片单元的尾端，所述d、e两个传感器之间的距离为分片距离。

2.根据权利要求1所述的pvd产线的分片设备，其特征在于，所述追片单元至少设置d、e两个传感器，其中，所述d传感器位于追片单元的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘书龙，马峥，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：