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本技术公开了一种PVD产线的分片设备，包括：进片室，所述进片室连接加热室，在所述进片室与所述加热室之间设置第一门阀，所述加热室连接第一缓冲室，在所述加热室与所述第一缓冲室之间连接第二门阀，所述第一缓冲室连接追片单元，所述追片单元连接工艺室，...
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