【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光电检测，具体涉及一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法。
技术介绍
1、压电可变形反射镜作为一种典型的压电驱动装置，其工作原理主要是基于压电效应，即通过对压电材料施加电场来实现其反射镜面面形的变化，从而实现对光学系统的调整和控制。压电可变形反射镜能够实现高自由度高精度的表面面形变化，为光学成像、通信、激光器调节等光学领域提供了重要的技术手段。然而，压电可变形反射镜在实际应用中常常会遇到迟滞问题。
2、压电可变形反射镜的迟滞问题是指正向电压-面形特性曲线和反向电压-面形特性曲线之间存在回差。这种迟滞现象的产生主要源于电致伸缩效应、铁电效应和逆压电效应的共同作用。具体来说，压电可变形反射镜下一时刻的输出面形不仅与当前的控制电压和输出面形有关，还跟控制电压的历史值和驱动电压频率有关。此外，压电可变形反射镜的迟滞环具有不对称性，正向电压-面形特性曲线和反向电压-面形特性曲线不存在对称抽。在周期电压的驱动下，压电变形镜通常无法恢复到其初始值。
3、迟滞非线性特性对压电可变形镜的性能有着显著影响。...
【技术保护点】
1.一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法，其特征在于，所述耦合系数ω在5％-12％之间，高斯指数α位于1.9-2.3之间。
3.根据权利要求1所述的一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法，其特征在于，所述不同结构参数对包括像散、三叶草像差、彗差、球差、二阶像散、二阶三叶草像差、二阶慧差。
4.根据权利要求1所述的一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法，其特征在于，所述Play算子的输出初值y0取为0。
【技术特征摘要】
1.一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种压电可变形反射镜面形闭环驱动与快速精确控制方法，其特征在于，所述耦合系数ω在5％-12％之间，高斯指数α位于1.9-2.3之间。
3.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：宁妍，刘明锋，马清华，高登巍，韩迪，张梦典，周易成，刘奎，王智毅，
申请(专利权)人：西安现代控制技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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