【技术实现步骤摘要】
本技术属于化工设备，涉及一种多晶硅还原工序原料汽化及混合系统。
技术介绍
1、多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料，随着信息技术和太阳能产业的飞速发展，全球对多晶硅的需求增长迅猛，市场供不应求。目前，国际上多晶硅生产技术70％以上使用的是改良西门子法。改良西门子法生产多晶硅的还原工序主要是将高纯三氯氢硅(纯度达到99.99％以上)和高纯氢(纯度达到99.9999％以上)按照一定的配比混合在一起构成原料混合气体，通入还原炉反应器中，在通电的硅芯表面被加热至1100℃左右，三氯氢硅和氢气发生还原反应，生成多晶硅并不断沉积在硅芯上，使该硅芯的直径逐渐变粗而形成多晶硅棒。
2、多晶硅生产工艺流程复杂，氯氢硅汽化和氢气的混合比例是产品质量的关键因素之一。三氯氢硅汽化是指高纯三氯氢硅和氢气在进入还原炉前按一定比例将三氯氢硅气化为气相后和氢气混合得到混合气体的过程。
3、专利cn 102249242 b公开的三氯氢硅汽化工艺，包括精馏得到的高纯三氯氢硅液体经计量后进入蒸发器蒸发；蒸发得到的三氯氢硅气体与经计量后的氢气在气...
【技术保护点】
1.一种多晶硅还原工序原料汽化及混合系统，其特征在于：包括蒸发室(1)、分离室(2)以及相关管线和阀门；蒸发室(1)顶部的气体输出端与分离室(2)的上部相连，分离室(2)的下部与蒸发室(1)下部相连。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原工序原料汽化及混合系统，其特征在于：蒸发室(1)包括换热壳体(101)，换热壳体(101)的中部设有换热管束(103)，换热壳体(101)的上部和下部均设有管箱(102)。
3.根据权利要求1所述的多晶硅还原工序原料汽化及混合系统，其特征在于：分离室(2)的上部设有除沫器(206)。
4.根据权利要求...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原工序原料汽化及混合系统，其特征在于：包括蒸发室(1)、分离室(2)以及相关管线和阀门；蒸发室(1)顶部的气体输出端与分离室(2)的上部相连，分离室(2)的下部与蒸发室(1)下部相连。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原工序原料汽化及混合系统，其特征在于：蒸发室(1)包括换热壳体(101)，换热壳体(101)的中部设有换热管束(103)，换热壳体(101)的上部和下部均设有管箱(102)。
3....
【专利技术属性】
技术研发人员：兰荣亮，周明艳，汪根宝，
申请(专利权)人：中石化南京工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。