温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种多晶硅还原工序原料汽化及混合系统，主要由蒸发室、分离室以及相关管线和阀门构成，可以实现三氯氢硅液体汽化和氢气混合加热同时进行，所得原料混合气无液沫夹带，可以有效避免发生管道振动的风险。...
该专利属于中石化南京工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中石化南京工程有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。