【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微射流激光加工，尤其涉及一种微射流激光防返水装置。
技术介绍
1、微射流激光加工技术是一项以水射流引导激光束对待加工工件进行切割、打孔的精密加工技术，其原理是将激光通过高压水束耦合后传输到工件表面来实现对工件的加工，因其具有无热影响区、无热应力、切道干净利落、切割损耗小等优点，被广泛应用于半导体、电子和航空航天等领域。
2、微射流激光在加工过程中，水射流在工件表面会不可避免的形成反射造成飞溅返水，并且飞溅上去的水汽会聚集在喷嘴底部而形成水珠，凝聚在射流出口的微射流导向嘴上。随着微射流激光加工的推进，在微射流导向嘴上凝聚的水珠不断增多，由于重力的影响，微射流导向嘴上凝聚的水珠会不定时的下落而与水射流接触，从而会影响水射流的稳定性而影响加工效果。另外，在飞溅返水较严重且无法及时将凝聚在微射流导向嘴上的水珠去除时，可能会导致喷嘴瞬间烧毁，喷嘴造价昂贵且更换后需进行垂直度及相对位置标定，这些操作会严重影响微射流激光的加工效率。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请实施例提供一种微射流激光防返水装置。
2、本申请实施例提供的一种微射流激光防返水装置，用于连接至耦合器的微射流导向嘴。该微射流激光防返水装置设置有贯通孔，微射流激光防返水装置的下端设置有环形导向面，贯通孔贯穿微射流激光防返水装置的上端和环形导向面的中间，微射流导向嘴穿设在贯通孔内，沿环形导向面的中间朝向环形导向面的边缘的方向，环形导向面的高度逐渐降低。
3、在本申请的一种可能的实现方式中，
4、在本申请的一种可能的实现方式中，微射流激光防返水装置还包括吸水件，第二通孔的内径大于微射流导向嘴的外径，吸水件围绕微射流导向嘴填充在第二连接件和微射流导向嘴之间，且吸水件的下端位于微射流导向嘴的下端和环形导向面的上端之间，吸水件的下端与微射流导向嘴的下端平齐。
5、在本申请的一种可能的实现方式中，第一连接件靠近第二连接件的一侧设置有容纳凹槽，容纳凹槽和第二连接件之间形成容纳腔，吸水件设置于容纳腔内。
6、在本申请的一种可能的实现方式中，吸水件的形状为圆柱形，容纳凹槽的形状为与吸水件的外轮廓匹配的圆柱形，吸水件的中间设置有第三通孔，微射流导向嘴穿设在第三通孔内，第三通孔的内径与微射流导向嘴的外径相同，吸水件的外径与容纳凹槽的内径相同，吸水件的高度与容纳凹槽的深度相同。
7、在本申请的一种可能的实现方式中，第二通孔的内径为微射流导向嘴的外径的2至3倍。
8、在本申请的一种可能的实现方式中，第一连接件位于容纳凹槽上方的部分设置有螺纹孔，螺纹孔贯通第一连接件的表面和第一通孔的内壁，微射流激光防返水装置还包括第一紧固件，第一紧固件安装于螺纹孔，用于将第一连接件固定连接至微射流导向嘴。
9、在本申请的一种可能的实现方式中，第一连接件为圆锥台状结构，沿第一连接件的上端指向第一连接件的下端的方向，第一连接件的尺寸逐渐增大，第一连接件的轴线与微射流导向嘴的轴线重合，第二连接件为圆环状结构，第二连接件的轴线与微射流导向嘴的轴线重合；第二连接件的外径与第一连接件靠近第二连接件的一端的外径相同。
10、在本申请的一种可能的实现方式中，第一连接件靠近第二连接件的一端设置有多个呈圆周阵列分布的第一连接孔，第二连接件设置有多个呈圆周阵列分布的第二连接孔，第一连接孔和第二连接孔一一对应；微射流激光防返水装置还包括第二紧固件，第二紧固件安装于第一连接孔和第二连接孔，用于将第一连接件和第二连接件固定连接在一起。
11、在本申请的一种可能的实现方式中，吸水件为海绵块。
12、在本申请实施例提供的微射流激光防返水装置中，通过在微射流激光防返水装置设置贯通孔，能够方便将微射流激光防返水装置安装至微射流导向嘴，并且不影响微射流导向嘴射出的水射流的流动。同时，通过在微射流激光防返水装置的下端设置环形导向面，并且，沿环形导向面的中间朝向环形导向面的边缘方向，将环形导向面的高度设置成逐渐减低，这样，能够利用环形导向面对飞溅返水凝聚至微射流导向嘴的水珠或者水流的流动形成导向，在水珠或者水流的重力作用下，使上述的水珠或者水流沿环形导向面流动逐渐远离微射流导向嘴，在水珠或者水流流动时会沿着环形导向面逐渐流动至环形导向面的边缘，即使水珠或者水流下落也会远离水射流，从而不会与水射流接触，不会影响水射流的稳定性，从而能够保证水射流的加工效果，也能够避免由于飞溅返水聚集在微射流导向嘴处导致的喷嘴烧毁，从而能够提高加工效率。
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1.一种微射流激光防返水装置，其特征在于，用于连接至耦合器的微射流导向嘴，所述微射流激光防返水装置设置有贯通孔，所述微射流激光防返水装置的下端设置有环形导向面，所述贯通孔贯穿所述微射流激光防返水装置的上端和所述环形导向面的中间，所述微射流导向嘴穿设在所述贯通孔内，沿所述环形导向面的中间朝向所述环形导向面的边缘的方向，所述环形导向面的高度逐渐降低。
2.根据权利要求1所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述微射流激光防返水装置包括第一连接件和第二连接件，所述贯通孔包括设置在所述第一连接件的第一通孔和设置在所述第二连接件的第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔的轴线重合；所述第一连接件连接至所述微射流导向嘴，所述第二连接件的上端连接至所述第一连接件的下端，所述环形导向面设置在所述第二连接件的下端，所述环形导向面的上端与所述微射流导向嘴的下端平齐。
3.根据权利要求2所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述微射流激光防返水装置还包括吸水件，所述第二通孔的内径大于所述微射流导向嘴的外径，所述吸水件围绕所述微射流导向嘴填充在所述第二连接件和所述微射流导向嘴之间
4.根据权利要求3所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述第一连接件靠近所述第二连接件的一侧设置有容纳凹槽，所述容纳凹槽和所述第二连接件之间形成容纳腔，所述吸水件设置于所述容纳腔内。
5.根据权利要求4所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述吸水件的形状为圆柱形，所述容纳凹槽的形状为与所述吸水件的外轮廓匹配的圆柱形，所述吸水件的中间设置有第三通孔，所述微射流导向嘴穿设在所述第三通孔内，所述第三通孔的内径与所述微射流导向嘴的外径相同，所述吸水件的外径与所述容纳凹槽的内径相同，所述吸水件的高度与所述容纳凹槽的深度相同。
6.根据权利要求4所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述第二通孔的内径为所述微射流导向嘴的外径的2至3倍。
7.根据权利要求4所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述第一连接件位于所述容纳凹槽上方的部分设置有螺纹孔，所述螺纹孔贯通所述第一连接件的表面和所述第一通孔的内壁，所述微射流激光防返水装置还包括第一紧固件，所述第一紧固件安装于所述螺纹孔，用于将所述第一连接件固定连接至所述微射流导向嘴。
8.根据权利要求3所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述第一连接件为圆锥台状结构，沿所述第一连接件的上端指向所述第一连接件的下端的方向，所述第一连接件的尺寸逐渐增大，所述第一连接件的轴线与所述微射流导向嘴的轴线重合，所述第二连接件为圆环状结构，所述第二连接件的轴线与所述微射流导向嘴的轴线重合；所述第二连接件的外径与所述第一连接件靠近所述第二连接件的一端的外径相同。
9.根据权利要求8所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述第一连接件靠近所述第二连接件的一端设置有多个呈圆周阵列分布的第一连接孔，所述第二连接件设置有多个呈圆周阵列分布的第二连接孔，所述第一连接孔和所述第二连接孔一一对应；所述微射流激光防返水装置还包括第二紧固件，所述第二紧固件安装于所述第一连接孔和所述第二连接孔，用于将所述第一连接件和所述第二连接件固定连接在一起。
10.根据权利要求3至9中任一项所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述吸水件为海绵块。
...【技术特征摘要】
1.一种微射流激光防返水装置，其特征在于，用于连接至耦合器的微射流导向嘴，所述微射流激光防返水装置设置有贯通孔，所述微射流激光防返水装置的下端设置有环形导向面，所述贯通孔贯穿所述微射流激光防返水装置的上端和所述环形导向面的中间，所述微射流导向嘴穿设在所述贯通孔内，沿所述环形导向面的中间朝向所述环形导向面的边缘的方向，所述环形导向面的高度逐渐降低。
2.根据权利要求1所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述微射流激光防返水装置包括第一连接件和第二连接件，所述贯通孔包括设置在所述第一连接件的第一通孔和设置在所述第二连接件的第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔的轴线重合；所述第一连接件连接至所述微射流导向嘴，所述第二连接件的上端连接至所述第一连接件的下端，所述环形导向面设置在所述第二连接件的下端，所述环形导向面的上端与所述微射流导向嘴的下端平齐。
3.根据权利要求2所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述微射流激光防返水装置还包括吸水件，所述第二通孔的内径大于所述微射流导向嘴的外径，所述吸水件围绕所述微射流导向嘴填充在所述第二连接件和所述微射流导向嘴之间，且所述吸水件的下端位于所述微射流导向嘴的下端和所述环形导向面的上端之间，所述吸水件的下端与所述微射流导向嘴的下端平齐。
4.根据权利要求3所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述第一连接件靠近所述第二连接件的一侧设置有容纳凹槽，所述容纳凹槽和所述第二连接件之间形成容纳腔，所述吸水件设置于所述容纳腔内。
5.根据权利要求4所述的微射流激光防返水装置，其特征在于，所述吸水件的形状为圆柱形，所述容纳凹槽的形状为与所述吸水件的外轮廓匹配的圆柱形，所述吸水件的中间设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨森，张国超，张聪，崔红恩，冯义刚，金春龙，
申请(专利权)人：西安晟光硅研半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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