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本技术公开了一种微射流激光防返水装置,涉及微射流激光加工技术领域。该微射流激光防返水装置设置有贯通孔,微射流激光防返水装置的下端设置有环形导向面,贯通孔贯穿微射流激光防返水装置的上端和环形导向面的中间,微射流导向嘴穿设在贯通孔内,沿环形导向...该专利属于西安晟光硅研半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安晟光硅研半导体科技有限公司授权不得商用。
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