【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片，尤其涉及一种加速度传感器及其信号检测方法。
技术介绍
1、作为一种测量芯片，加速度传感器主要是应用于测量运动载体加速度的器件，通过对加速度传感器中质量单元所受惯性力的测量，获得运动载体的加速度。具体的，采用悬臂梁受到应力从而产生电信号的变化，来对质量单元所受的惯性力进行测量。然而，悬臂梁产生的电荷信号的量级一般为皮库级，为提高输出信号的强度，需使用大增益放大器。但增益越大，悬臂梁的检测的范围就越小，同时对于噪声的抑制影响很大。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种加速度传感器及其信号检测方法，以增大悬臂梁产生的信号强度，从而降低增益，提升加速度传感器的测量精度。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种加速度传感器，包括：框型基座、质量单元、以及连接所述框型基座和所述质量单元的至少两条悬臂梁；
3、其中，所述至少两条悬臂梁分别位于所述加速度传感器的不同位置；且所述悬臂梁包括第一检测单元和第二检测单元，所述第一检测单元连接所述框型基座，所述第二检测...
【技术保护点】
1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：框型基座、质量单元、以及连接所述框型基座和所述质量单元的至少两条悬臂梁；
2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一检测单元和所述第二检测单元关于所述悬臂梁的中线对称设置；所述悬臂梁连接所述框型基座和所述质量单元的方向为连接方向，所述悬臂梁的中线垂直于所述连接方向。
3.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一检测单元包括第一底电极、第一PZT薄膜和第一顶电极；
4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一底电极和所述第二底电极共用一个底电极；所述第...
【技术特征摘要】
1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：框型基座、质量单元、以及连接所述框型基座和所述质量单元的至少两条悬臂梁；
2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一检测单元和所述第二检测单元关于所述悬臂梁的中线对称设置；所述悬臂梁连接所述框型基座和所述质量单元的方向为连接方向，所述悬臂梁的中线垂直于所述连接方向。
3.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一检测单元包括第一底电极、第一pzt薄膜和第一顶电极；
4.根据权利要求3所述的加速度传感器，其特征在于，所述第一底电极和所述第二底电极共用一个底电极；所述第一pzt薄膜和所述第二pzt薄膜共用一个pzt薄膜；
5.根据权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于，所述框型基座为对称结构；所述质量单元为对称结构；所述至少两条悬臂梁对称设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁国建，王春华，徐文俊，汪洋，王晓晖，冯琦，于萍，
申请(专利权)人：松山湖材料实验室，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。