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加速度传感器及其信号检测方法技术
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文档序号:43455786
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本发明公开了一种加速度传感器及其信号检测方法。该加速度传感器包括:框型基座、质量单元、以及连接所述框型基座和所述质量单元的至少两条悬臂梁;其中,所述至少两条悬臂梁分别位于所述加速度传感器的不同位置;且所述悬臂梁包括第一检测单元和第二检测单元...
该专利属于松山湖材料实验室所有,仅供学习研究参考,未经过松山湖材料实验室授权不得商用。
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