【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光椭偏仪,具体为一种新型激光椭偏仪斜台面。
技术介绍
1、太阳能光伏电池制造行业其中的pecvd工序,需要在电池片的正背面镀一层氮化硅减反射膜,氮化硅薄膜的厚度需要严格控制,需要用到专业仪器椭偏仪进行测量厚度,测试时电池片放置在台面上时,台面下方有两个固定柱,电池片可卡在固定柱之间固定电池片,激光正好可以照射到电池片的正中心位置,测量中心区域的膜厚和折射率数据,若要想测试边缘区域的数值,需要人为手动提起电池片,使激光照射到边缘位置,测完一个边后,手动旋转电池片转到另一个边,完全依赖于人为手动操作,对电池片表面造成手指印,而且操作过程中还容易造成碎片,因此需要一种能够灵活移动并固定电池片位置,方便测试电池片边缘区域数据的设备。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本技术提供了一种新型激光椭偏仪斜台面,解决了难以灵活的移动并固定电池片的位置,方便测试电池片边缘区域数据的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种新型激光椭偏仪斜台面,包括底座,所述底座的顶
...【技术保护点】
1.一种新型激光椭偏仪斜台面,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有倾斜台面(2),倾斜台面(2)的顶部滑动连接有电池片(3),倾斜台面(2)的顶部安装有用于支撑电池片(3)的支撑组件(4);
2.根据权利要求1所述的一种新型激光椭偏仪斜台面,其特征在于:所述固定柱(41)远离倾斜台面(2)的一侧固定连接有挡板(5),挡板(5)靠近倾斜台面(2)的一侧固定连接有多个海绵垫(6)。
3.根据权利要求1所述的一种新型激光椭偏仪斜台面,其特征在于:所述倾斜台面(2)的顶部固定连接有多个半圆柱(7),半圆柱(7)靠近固定柱(41)和
...【技术特征摘要】
1.一种新型激光椭偏仪斜台面,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部固定连接有倾斜台面(2),倾斜台面(2)的顶部滑动连接有电池片(3),倾斜台面(2)的顶部安装有用于支撑电池片(3)的支撑组件(4);
2.根据权利要求1所述的一种新型激光椭偏仪斜台面,其特征在于:所述固定柱(41)远离倾斜台面(2)的一侧固定连接有挡板(5),挡板(5)靠近倾斜台面(2)的一侧固定连接有多个海绵垫(6)。
3.根据权利要求1所述的一种新型激光椭偏仪斜台面,其特征在于:所述倾斜台面(2)的顶部固定连接有多个半圆柱(7),半圆柱(7)靠近固定柱(41)和滑槽的位置开设有缺口。
4.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:张科,朱浩,唐剑明,王永亮,马中红,段冰,李瑞瑞,王露华,王厚玉,
申请(专利权)人:滁州捷泰新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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