一种发光二极管制造技术

本申请公开了一种发光二极管，包括：外延层，外延层包括依次层叠设置的第一半导体层、发光层和第二半导体层；第一通孔，第一通孔贯穿第二半导体层和发光层，露出第一半导体层；至少一层介质层，至少一层介质层位于第二半导体层背离发光层的一侧，覆盖第一通孔的侧壁，露出第一通孔的底部；第一金属反射层，第一金属反射层位于至少一层介质层背离第二半导体层的一侧，且露出第一通孔；第二通孔，第二通孔贯穿至少一层介质层以及第一金属反射层；第二金属反射层，至少覆盖第二通孔的侧壁以及底部。本申请技术方案在第一通孔外的第二半导体层表面上设置有不同的第一金属反射层和第二金属反射层，提高了发光二极管的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体器件，更具体的说，涉及一种发光二极管。

技术介绍

1、大功率发光二极管(light emitting diode，简称led)的性能提升一直是学术界和产业界共同关注的问题。目前，市场中最主流的大功率发光二极管多是采用金属反射层作为反射镜的设计结构。

2、虽然金属反射层能够改善发光二极管内部的反射性能以及欧姆接触效果，但是会带来额外的可靠性问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提供了一种发光二极管，方案如下：

2、一种发光二极管，包括：

3、外延层，外延层包括依次层叠设置的第一半导体层、发光层和第二半导体层；

4、第一通孔，第一通孔贯穿第二半导体层和发光层，露出第一半导体层；

5、至少一层介质层，至少一层介质层位于第二半导体层背离发光层的一侧，覆盖第一通孔的侧壁，露出第一通孔的底部；

6、第一金属反射层，第一金属反射层位于至少一层介质层背离第二半导体层的一侧，且露出第一通孔；

7、第二通孔，第二通孔贯穿至少一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种发光二极管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述第一金属反射层的黏附力大于所述第二金属反射层的黏附力。

3.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述第一金属反射层为第一镀膜层，所述第二金属反射层为第二镀膜层；

4.根据权利要求3所述的发光二极管，其特征在于，所述第一镀膜层为溅射工艺沉积金属层；所述第二镀膜层为物理气相沉积金属层。

5.根据权利要求3所述的发光二极管，其特征在于，所述第一镀膜层和所述第二镀膜层均为溅射工艺沉积金属层，且所述第一镀膜层的溅射功率大于所述第二镀膜层的溅射功率。...

【技术特征摘要】

1.一种发光二极管，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述第一金属反射层的黏附力大于所述第二金属反射层的黏附力。

3.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述第一金属反射层为第一镀膜层，所述第二金属反射层为第二镀膜层；

4.根据权利要求3所述的发光二极管，其特征在于，所述第一镀膜层为溅射工艺沉积金属层；所述第二镀膜层为物理气相沉积金属层。

5.根据权利要求3所述的发光二极管，其特征在于，所述第一镀膜层和所述第二镀膜层均为溅射工艺沉积金属层，且所述第一镀膜层的溅射功率大于所述第二镀膜层的溅射功率。

6.根据权利要求1所述的发光二极管，其特征在于，所述至少一层介质层与所述第二半导体层之间具有欧姆接触层，所述欧姆接触...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭茂峰，金全鑫，沈侠强，张荣艳，李世焕，
申请(专利权)人：厦门士兰明镓化合物半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：