【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电源，尤其涉及多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置。
技术介绍
1、在电路系统中，阻抗匹配是一个关键问题。当源端与负载端之间的阻抗不匹配时，会导致信号反射、功率损失和噪声干扰等问题。因此，需要设计一种阻抗匹配器电路，以实现对不同频率和功率的信号的阻抗匹配。
2、传统的阻抗匹配器电路通常采用固定阻抗的方式，无法适应不同频率和功率的信号的变化。随着技术的不断发展，对于电路系统的性能要求也越来越高，需要设计一种能够自适应调节阻抗的匹配器电路，以满足不同应用场景的需求。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置，旨在解决传统的阻抗匹配器电路通常采用固定阻抗的方式，无法适应不同频率和功率的信号的变化的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请提供了一种多段阻抗的匹配器电路，应用于等离子体产生装置，所述匹配器电路包括：
3、输入接口，所述输入接口用于输入待匹配信号；
4、控制电路，所述控制电路的第一输入端与所述输入接口连接，所述控制电路用于检测所述待匹配信号的频率和功率，并输出对应的调节信号；
5、至少一个阻抗调节电路，所述阻抗调节电路的输入端与所述输入接口连接，所述阻抗调节电路的受控端与所述控制电路的输出端连接，所述阻抗调节电路用于根据所述调节信号，调节阻抗值。
6、在一实施例中，所述控制电路包括：
7、频率检测电路，所述频率检测电路的输入端与所述输入接口连接，
8、功率检测电路，所述功率检测电路的输入端与所述输入接口连接，所述功率检测电路用于检测所述待匹配信号的功率，并输出对应的功率信号；
9、处理电路，所述处理电路的输入端与所述频率检测电路的输出端和/或所述功率检测电路的输出端连接，所述处理电路用于根据所述频率和/或所述功率，输出对应的调节信号至所述阻抗调节电路。
10、在一实施例中，所述频率检测电路包括：
11、触发器，所述触发器的输入端与所述输入接口连接，所述触发器的输出端与所述处理电路的第一输入端连接，所述触发器用于对输入的待匹配信号进行整形和二分频，并输出对应的频率信号。
12、在一实施例中，所述阻抗调节电路包括：
13、可变电阻器，所述可变电阻器的第一端与所述输入接口连接，所述可变电阻器的第二端与负载连接；
14、驱动电路，所述驱动电路的使能端与所述控制电路的输出端连接，所述驱动电路的输出端与所述可变电阻器的受控端连接，所述驱动电路用于根据所述调节信号，控制所述可变电阻器的电阻值。
15、在一实施例中，所述可变电阻器包括多个并联的可变电阻，每个所述可变电阻的受控端与所述驱动电路的输出端一一对应连接，所述驱动电路根据所述调节信号，控制至少一个所述可变电阻调整电阻值。
16、在一实施例中，所述驱动电路包括：
17、驱动芯片，所述驱动芯片的输入端与所述控制电路的输出端连接，所述驱动芯片的输出端与所述可变电阻器的受控端连接，所述驱动芯片用于驱动所述可变电阻器的电阻值调节。
18、在一实施例中，所述阻抗调节电路还包括：
19、滤波电路，所述滤波电路的第一端与所述可变电阻器的第一端连接，所述滤波电路的第二端接地，所述滤波电路用于对所述待匹配信号进行滤波处理，以减少噪声干扰。
20、在一实施例中，还包括：
21、保护电路，所述保护电路连接在所述输入接口和所述阻抗调节电路之间，所述保护电路用于在所述待匹配信号的电压或电流超过预设阈值时，断开所述输入接口与所述阻抗调节电路之间的连接。
22、在一实施例中，所述匹配器电路还包括：
23、温度补偿电路，所述温度补偿电路包括温度传感器，所述温度传感器靠近所述阻抗调节电路设置，所述温度补偿电路的输出端与所述控制电路的第二输入端连接，所述温度补偿电路用于监测所述阻抗调节电路当前的温度变化，并输出对应的温度信号；
24、所述控制电路根据所述温度信号和所述调节信号，调节阻抗值。
25、此外，为实现上述目的，本申请还提供了一种等离子体产生装置，所述等离子体产生装置包括如上所述的一种多段阻抗的匹配器电路。
26、本专利技术实施例通过输入接口输入待匹配信号，并将控制电路和输入接口进行连接，以检测待匹配信号的频率和功率，并输出对应的调节信号，再设有至少一个阻抗调节电路，且阻抗调节电路分别和输入接口以及控制电路连接，以实现根据调节信号，调节阻抗值，从而实现对不同频率和功率的信号的自适应阻抗匹配，满足不同应用场景的需求。
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1.一种多段阻抗的匹配器电路，应用于等离子体产生装置，其特征在于，所述匹配器电路包括：
2.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述控制电路包括：
3.如权利要求2所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述频率检测电路包括：
4.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述阻抗调节电路包括：
5.如权利要求4所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述可变电阻器包括多个并联的可变电阻，每个所述可变电阻的受控端与所述驱动电路的输出端一一对应连接，所述驱动电路根据所述调节信号，控制至少一个所述可变电阻调整电阻值。
6.如权利要求4所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述驱动电路包括：
7.如权利要求4所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述阻抗调节电路还包括：
8.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，还包括：
9.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述匹配器电路还包括：
10.一种等离子体产生装置，其特征在
...【技术特征摘要】
1.一种多段阻抗的匹配器电路，应用于等离子体产生装置，其特征在于，所述匹配器电路包括：
2.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述控制电路包括：
3.如权利要求2所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述频率检测电路包括：
4.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述阻抗调节电路包括：
5.如权利要求4所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述可变电阻器包括多个并联的可变电阻，每个所述可变电阻的受控端与所述驱动电路的输出端一一对应连接，所述驱动电路...
【专利技术属性】
技术研发人员：乐卫平，林伟群，姚志毅，杨佩铮，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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