【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电源，尤其涉及多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置。
技术介绍
1、在电路系统中，阻抗匹配是一个关键问题。当源端与负载端之间的阻抗不匹配时，会导致信号反射、功率损失和噪声干扰等问题。因此，需要设计一种阻抗匹配器电路，以实现对不同频率和功率的信号的阻抗匹配。
2、传统的阻抗匹配器电路通常采用固定阻抗的方式，无法适应不同频率和功率的信号的变化。随着技术的不断发展，对于电路系统的性能要求也越来越高，需要设计一种能够自适应调节阻抗的匹配器电路，以满足不同应用场景的需求。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置，旨在解决传统的阻抗匹配器电路通常采用固定阻抗的方式，无法适应不同频率和功率的信号的变化的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请提供了一种多段阻抗的匹配器电路，应用于等离子体产生装置，所述匹配器电路包括：
3、输入接口，所述输入接口用于输入待匹配信号；
4、控制电路，所述控制电路的第一输入端与...
【技术保护点】
1.一种多段阻抗的匹配器电路，应用于等离子体产生装置，其特征在于，所述匹配器电路包括：
2.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述控制电路包括：
3.如权利要求2所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述频率检测电路包括：
4.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述阻抗调节电路包括：
5.如权利要求4所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述可变电阻器包括多个并联的可变电阻，每个所述可变电阻的受控端与所述驱动电路的输出端一一对应连接，所述驱动电路根据所述调节信号，控制至少一个所述可...
【技术特征摘要】
1.一种多段阻抗的匹配器电路，应用于等离子体产生装置，其特征在于，所述匹配器电路包括：
2.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述控制电路包括：
3.如权利要求2所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述频率检测电路包括：
4.如权利要求1所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述阻抗调节电路包括：
5.如权利要求4所述的多段阻抗的匹配器电路，其特征在于，所述可变电阻器包括多个并联的可变电阻，每个所述可变电阻的受控端与所述驱动电路的输出端一一对应连接，所述驱动电路...
【专利技术属性】
技术研发人员：乐卫平，林伟群，姚志毅，杨佩铮，
申请(专利权)人：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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