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本申请公开了多段阻抗的匹配器电路及等离子体产生装置，本申请涉及电源技术领域，多段阻抗的匹配器电路包括：输入接口，输入接口用于输入待匹配信号；控制电路，控制电路的第一输入端与输入接口连接，控制电路用于检测待匹配信号的频率和功率，并输出对应的调...
该专利属于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市恒运昌真空技术股份有限公司授权不得商用。

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