除尘装置制造方法及图纸

本技术提供了一种除尘装置，用于对搬运车进行除尘，除尘装置包括：箱体，箱体具有容纳腔、进气口和真空吸气口，进气口和真空吸气口均与容纳腔连通；第一支撑组件和第二支撑组件，第一支撑组件和第二支撑组件间隔设置在容纳腔的顶部，第一支撑组件和第二支撑组件的间隔可调，第一支撑组件和第二支撑组件配合对搬运车进行支撑；吹扫组件，与进气口连通，吹扫组件通过进气口对搬运车进行吹扫；真空组件，与真空吸气口连通，真空组件能够吸除容纳腔内的灰尘。通过本申请提供的技术方案，能够解决现有技术中的在对搬运车除尘过程中，无法有效避免对洁净室的污染的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及除尘装置，具体而言，涉及一种除尘装置。

技术介绍

1、目前，在半导体生产车间，通常采用自动物料搬运车对物料进行搬运，但是搬运车在洁净室长时间运转后，灰尘会附着在搬运车上，并且灰尘会随着搬运车运行再次洒落，从而再次对洁净室造成污染。现有技术中，通常采用气枪吹扫或者吸尘器吸除搬运车上的灰尘，但是在除尘过程中，灰尘会扩散至洁净室的空气中或者洒落至工作人员身上以及除尘工具上，无法有效避免对洁净室的污染。

技术实现思路

1、本技术提供一种除尘装置，以解决现有技术中的在对搬运车除尘过程中，无法有效避免对洁净室的污染的问题。

2、本技术提供了一种除尘装置，用于对搬运车进行除尘，除尘装置包括：箱体，箱体具有容纳腔、进气口和真空吸气口，进气口和真空吸气口均与容纳腔连通；第一支撑组件和第二支撑组件，第一支撑组件和第二支撑组件间隔设置在容纳腔的顶部，第一支撑组件和第二支撑组件的间隔可调，第一支撑组件和第二支撑组件配合对搬运车进行支撑；吹扫组件，与进气口连通，吹扫组件通过进气口对搬运车进行吹扫；真空组件，与真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种除尘装置，用于对搬运车(100)进行除尘，其特征在于，所述除尘装置包括：

2.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述容纳腔(11)的顶部设置有滑槽，所述滑槽沿所述第一支撑组件(21)和第二支撑组件(22)移动方向延伸，所述第一支撑组件(21)包括相互连接的第一连接杆(211)和第一导轨(212)，所述第二支撑组件(22)包括相互连接的第二连接杆(221)和第二导轨(222)，所述第一连接杆(211)和所述第二连接杆(221)可滑动地设置在所述滑槽内，所述第一导轨(212)和所述第二导轨(222)用于对所述搬运车(100)进行支撑。

<p>3.根据权利要求...

【技术特征摘要】

1.一种除尘装置，用于对搬运车(100)进行除尘，其特征在于，所述除尘装置包括：

2.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述容纳腔(11)的顶部设置有滑槽，所述滑槽沿所述第一支撑组件(21)和第二支撑组件(22)移动方向延伸，所述第一支撑组件(21)包括相互连接的第一连接杆(211)和第一导轨(212)，所述第二支撑组件(22)包括相互连接的第二连接杆(221)和第二导轨(222)，所述第一连接杆(211)和所述第二连接杆(221)可滑动地设置在所述滑槽内，所述第一导轨(212)和所述第二导轨(222)用于对所述搬运车(100)进行支撑。

3.根据权利要求2所述的除尘装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述容纳腔(11)的顶部设置有丝杠，所述丝杠可转动地设置在所述容纳腔(11)的顶部，所述丝杠具有相对设置的第一连接段和第二连接段，所述第一连接段和所述第二连接段的螺纹旋向相反，所述第一支撑组件(21)与所述第一连接段螺纹连接，所述第二支撑组件(22)与所述第二连接段螺纹连接，所述丝杠用于调节所述第一支撑组件(21)和所述第二支撑组...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，
申请(专利权)人：江苏卓胜微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：