一种氧化铝锌靶材及其制备方法、应用技术

本发明专利技术属于半导体领域，公开了一种氧化铝锌靶材的制备方法，所述制备方法先将氧化铝锌粉末放入坩埚中煅烧，过筛，得到粉体一；再将粘结剂溶液喷洒在粉体一上，烘干，得到粉体二；而后将粉体二与氧化铝锌粉末混合，调整水分，得到粉体三；最后将粉体三造粒，模压成型，烧结，得到氧化铝锌靶材，本发明专利技术所制备的低密度AZO靶材其晶粒尺寸细小且成分均匀，具有较低的电阻率、纯度≥99.99％、相对密度在55％～65％、靶材性能稳定、蒸镀时不易开裂，蒸镀后导电薄膜拥有高透过率及高电导率的特性，此外本申请还公开了一种氧化铝锌靶材及其应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种氧化铝锌靶材及其制备方法和应用。

技术介绍

1、锡掺杂氧化铟(i nd iμm tin oxide，简称i to)是当前应用最广泛的透明导电膜。现有i to薄膜的制备方法主要是由磁控溅射法和真空蒸镀法，磁控溅射法主要用于高密度i to靶材，其靶材相对密度大于99％，而真空蒸镀原理是对低密度的i to靶材进行加热，由于其密度较低，从而使其蒸发并沉积在需要镀膜的基片上。蒸发镀膜利用在真空、高温下的蒸镀材料蒸发形成薄膜，并沉积在基底材料上，具有操作方便、较高的沉积速率等特点，一般选用低密度蒸镀材料，所蒸镀出的薄膜纯度均匀、致密性高、膜结构和性能独特、硬度适中及优异的光电特性。并且因为蒸镀具有沉积速率快等特点，所以靶材密度过高会导致蒸镀不稳定，出现裂靶、容易造成蒸镀薄膜出现毛孔，密度和曲折率低，有膜强度不足的倾向。

2、中国专利申请202311187610.2中公开了一种高密度高均匀性氧化锌铝靶材及其制备方法，制备方法为：将粒径为0.3～0.8μm的小粒径氧化锌铝粉末与粒径为1～1.5μm的大粒径氧化锌铝粉末混合得本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：

2.根据权利要求1所述的氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤1的煅烧工艺为：煅烧温度为1350～1500℃，升温速率为3～5℃/min，保温时间为8-12h，降温速率为3～5℃/min。

3.根据权利要求1所述的氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤1的坩埚为氧化铝坩埚，过筛使用的筛网目数为80～200目。

4.根据权利要求1所述的氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤2中粘结剂溶液中粘结剂与去离子水的质量比为2：1。

5.根据权利要求1所述的氧化铝锌靶材的制备...

【技术特征摘要】

1.一种氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：

2.根据权利要求1所述的氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤1的煅烧工艺为：煅烧温度为1350～1500℃，升温速率为3～5℃/min，保温时间为8-12h，降温速率为3～5℃/min。

3.根据权利要求1所述的氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤1的坩埚为氧化铝坩埚，过筛使用的筛网目数为80～200目。

4.根据权利要求1所述的氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤2中粘结剂溶液中粘结剂与去离子水的质量比为2：1。

5.根据权利要求1所述的氧化铝锌靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤2的粘结剂为聚乙烯醇与聚乙二醇的混合剂、聚乙烯醇或聚乙烯醇缩丁醛中的一种或多种，且粘结剂的量为粉体一质量的1％...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾德盛，张兴宇，罗斯诗，李开杰，王奇峰，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：