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本发明属于半导体领域，公开了一种氧化铝锌靶材的制备方法，所述制备方法先将氧化铝锌粉末放入坩埚中煅烧，过筛，得到粉体一；再将粘结剂溶液喷洒在粉体一上，烘干，得到粉体二；而后将粉体二与氧化铝锌粉末混合，调整水分，得到粉体三；最后将粉体三造粒，模...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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