一种双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片制造技术

本技术涉及一种双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片，它依次由底层金属、介质层和顶层金属组成双腔结构，底层、顶层金属为Ag，介质层为SiO<subgt;2</subgt;光栅结构，其结构参数包括：光栅的周期P=w1+w2，w1为短腔宽度，w2为长腔宽度；光栅的高度△L=L2‑L1，L1为短腔的长度，L2为长腔的长度；各参数的取值范围满足条件：P为150～250nm，L1为80～220nm，L2为260～410nm。本技术采用双腔结构，在不同偏振态光入射时，能获得不同的透射颜色；同时，通过精确调控短腔和长腔的占宽比及长/短腔的长度、光栅周期及不同的光栅取向，可实现对TM、TE偏振光入射下的透射光谱的自由调控。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片，属于微纳光学器件。

技术介绍

1、彩色滤光片广泛应用于显示技术、彩色印刷、防伪、装饰、发光产品等领域。常见的微纳结构彩色滤光片有薄膜型和金属超表面型，与传统的化学染料/颜料通过发光或吸收产生颜色相比，基于金属超表面微纳结构的彩色滤光片具有高分辨率、可集成性、保护环境和耐久性高的优势，其中，偏振透射式彩色滤光片作为偏振器和滤光片提供了双重功能。

2、基于金属超表面的结构色在结构形状，参数等的设计及制备上具有极高的灵活度，仅需改变结构横向尺寸的参数就能获得不同的颜色。现有技术报道了一种在玻璃基底上采用一维硅亚波长光栅的偏光透射彩色滤光片，这种一维光栅结构，通常只能对tm入射光下的透射/反射颜色进行谐调，而对te入射光下的透射/反射颜色谐调范围有限。

技术实现思路

1、本技术针对现有技术存在的不足，提供一种在不同偏振态（tm或te）光入射时，可获得不同的透射颜色，具有优异的偏振特性的双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片。

2、实现本技术目的的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1. 一种双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片，其特征在于：它依次由底层金属(2)、介质层(3)和顶层金属 (4)组成双腔结构，底层、顶层金属为Ag，介质层为SiO2光栅结构，其结构参数包括：光栅的周期P=w1+w2，w1为短腔宽度，w2为长腔宽度；光栅的高度△L=L2-L1，L1为短腔的长度，L2为长腔的长度；各参数的取值范围满足条件：P为150～250nm，L1为80～220nm，L2为 260～410nm。

2.根据权利要求1所述的一种双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片，其特征在于：顶层、底层金属Ag的薄膜厚度为25～35nm。

【技术特征摘要】

1. 一种双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片，其特征在于：它依次由底层金属(2)、介质层(3)和顶层金属 (4)组成双腔结构，底层、顶层金属为ag，介质层为sio2光栅结构，其结构参数包括：光栅的周期p=w1+w2，w1为短腔宽度，w2为长腔宽度；光栅的高度△l=l2-l1，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨乾，程希果，王越，任振伟，陈煜，王钦华，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：新型
国别省市：