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一种双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片制造技术
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下载一种双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片的技术资料
文档序号:43405593
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本技术涉及一种双金属光栅纳米微腔的透射式彩色滤光片,它依次由底层金属、介质层和顶层金属组成双腔结构,底层、顶层金属为Ag,介质层为SiO<subgt;2</subgt;光栅结构,其结构参数包括:光栅的周期P=w1+w2,w1为短...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。
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