三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺制造技术

本发明专利技术属于氟化工的回收提纯工艺的技术领域，具体涉及三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺。所述的三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺：将三氟化氮废渣破碎溶解，控制温度为60℃‑70℃，通入氨气调节pH为4.5‑5，压滤后取滤液，加碳酸钾调节pH为9‑10，压滤后的滤液进行结晶、离心、干燥，得到纯品氟化氢铵。只能通入氨气，无法通过加入氨水调节，加入氨水无法处理掉多余的水分。所述的三氟化氮废渣中氟化氢铵质量占比为40%‑45%。本发明专利技术对于三氟化氮废电解质的处理工艺中采用湿法回收时所得产品品质低的问题，提供回收提纯工艺，回收的氟化氢铵纯度高，收率高，回收过程绿色环保安全。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于氟化工的回收提纯工艺的，具体涉及三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺。

技术介绍

1、电子三氟化氮主要应用于新材料（精细和专用化学品）、超净高纯电子气体领域。nf3具有优异的蚀刻速率和选择性，而且在蚀刻物表面不留任何残留物质，广泛应用于电路板蚀刻、液晶屏蚀刻及清洗、芯片制造、高能激光器等行业，是电子行业中一种优良的等离子蚀刻气体及非常好的清洗剂。但三氟化氮电解废渣的处理是行业比较关注的问题。目前三氟化氮的电解废渣有两种处理方式：火法回收和湿法回收。三氟化氮厂家委托资质危废处理厂家进行火法回收其中的镍，氟化氢铵通过高温焚烧处理，这种方法对设备的腐蚀较大，同时氟化氢铵无法回收。行业内更倾向于湿法回收，即镍渣与氟化氢铵分离后，镍渣采用湿法冶炼回收，氟化氢铵则通过溶解、结晶、干燥回收，但目前的回收工艺所回收的氟化氢铵产品的品质较低。

2、公开专利cn118147661a提出一种三氟化氮电解槽废电解质回收再利用的方法，采用硫化氨法除镍，无法有效破络除镍，同时硫化氨在酸性环境中（电解槽废电解质溶液为酸性）易生成硫化氢，具有一定危险性。同时本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺，其特征在于：将三氟化氮废渣破碎溶解，控制温度为60℃-70℃，通入氨气调节pH为4.5-5，压滤后取滤液，加碳酸钾调节pH为9-10，压滤后的滤液进行结晶、离心、干燥，得到纯品氟化氢铵。

2.根据权利要求1所述的三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺，其特征在于：所述的三氟化氮废渣中氟化氢铵质量占比为40%-45%。

3.根据权利要求2所述的三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺，其特征在于：所述的三氟化氮废渣中氟化氢铵质量占比为40%-45%，镍单质为2.5%-3.5%，氟化镍氨络合物28%-32%，氟化铜氨...

【技术特征摘要】

1.一种三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺，其特征在于：将三氟化氮废渣破碎溶解，控制温度为60℃-70℃，通入氨气调节ph为4.5-5，压滤后取滤液，加碳酸钾调节ph为9-10，压滤后的滤液进行结晶、离心、干燥，得到纯品氟化氢铵。

2.根据权利要求1所述的三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺，其特征在于：所述的三氟化氮废渣中氟化氢铵质量占比为40%-45%。

3.根据权利要求2所述的三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺，其特征在于：所述的三氟化氮废渣中氟化氢铵质量占比为40%-45%，镍单质为2.5%-3.5%，氟化镍氨络合物28%-32%，氟化铜氨络合物2%-3%，氟化铁8%-10%，水2%-3%，余量为氟硅酸盐。

4.根据权利要求1所述的三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺，其特征在于：将三氟化氮废渣破碎至平均粒径为0.8-1.2cm。

5.根据权利要求1所述的三氟化氮废电解质中氟化氢铵的回收提纯工艺，其特征在于：三氟化氮废渣破碎溶解于水中，按照水与三氟...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文，王陆平，付策策，王茂宁，王甜，
申请(专利权)人：南大光电淄博有限公司，
类型：发明
国别省市：