【技术实现步骤摘要】
本技术属于气体检测装置的，具体涉及一种六氟化硫生产气体过滤检测装置。
技术介绍
1、六氟化硫(sf6)气体为无色气体，六氟化硫具有优异的灭弧性能，还具有良好的电气绝缘性能，是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，应用于断路器、高压变压器、互感器、高压传输线、气封闭组合电容器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被应用于微电子
其制备方法一般是由单质氟与硫直接化合而得，反应过程中产生的其他氟化物，可通过加热等后处理，得到六氟化硫。而在生产过程中，需要对六氟化硫气体进行在线监测，做到对其纯度的控制。
2、目前，气相色谱仪在线检测是通过取样管路直接将气相色谱仪与生产系统进行连接，再检测。但是产生的气体中的其他杂质，使用时间久后，容易堵塞气相色谱仪的内部滤柱及管路，造成结果不准确，并且严重影响设备使用寿命。
3、cn203606328u公开了一种六氟化硫分解产物气相色谱测定装置，第一六通定量阀和第二六通定量阀的输入端接六氟化硫气体，第一六通定量阀的输出端依次...
【技术保护点】
1.一种六氟化硫生产气体过滤检测装置，其特征在于：包括除酸罐(1)、除水器(2)、干燥器(3)，所述的除酸罐(1)与除水器(2)连接，所述的除水器(2)与干燥器(3)连接，所述的除酸罐(1)上设置有补碱杯(5)，所述的除酸罐(1)上设置有液位计(7)，所述的除酸罐(1)上设置有排污管(13)。
2.根据权利要求1所述的六氟化硫生产气体过滤检测装置，其特征在于：所述的除酸罐(1)上设置有进气口(4)、出气口(8)。
3.根据权利要求1所述的六氟化硫生产气体过滤检测装置，其特征在于：所述的除酸罐(1)与生产系统(15)连接，且之间设置有气体阀门(1
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【技术特征摘要】
1.一种六氟化硫生产气体过滤检测装置，其特征在于：包括除酸罐(1)、除水器(2)、干燥器(3)，所述的除酸罐(1)与除水器(2)连接，所述的除水器(2)与干燥器(3)连接，所述的除酸罐(1)上设置有补碱杯(5)，所述的除酸罐(1)上设置有液位计(7)，所述的除酸罐(1)上设置有排污管(13)。
2.根据权利要求1所述的六氟化硫生产气体过滤检测装置，其特征在于：所述的除酸罐(1)上设置有进气口(4)、出气口(8)。
3.根据权利要求1所述的六氟化硫生产气体过滤检测装置，其特征在于：所述的除酸罐(1)与生产系统(15)连接，且之间设置有气体阀...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘光宇，王甜，王慧霞，
申请(专利权)人：南大光电淄博有限公司，
类型：新型
国别省市：
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