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直流电场传感器制造技术

技术编号:43387106 阅读:26 留言:0更新日期:2024-11-19 18:01
本申请涉及传感器技术领域,特别是涉及一种直流电场传感器,包括:交流信号调制单元、固态电子器件、直流电场感应电极、隔直电容和信号采集单元;所述固态电子器件的第一端与交流信号调制单元连接;所述固态电子器件的第二端与所述直流电场感应电极连接;并且,所述固态电子器件的第二端与所述隔直电容和所述信号采集单元串接;所述固态电子器件的第三端与接地端连接。本方案提供的直流电场传感器,具有结构简单、体积小的优点。并且,由于传感器没有机械部件,避免了机械部件带来的扰动,使得传感器具有更高的稳定性,可以有效解决直流电场测量难题,可以用于静电测量、直流电场/电压监测等领域。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及传感器,特别是涉及一种直流电场传感器


技术介绍

1、现有的电场传感器按照工作原理的不同,分为电光式、机械式、电子式等。其中,电光式电场传感器基于电光效应将电场信号通过能量耦合调制成光信号进行感知,主要包括pockels效应和kerr效应等,其具有无损传输、测量频带宽、动态响应快等特性;然而电光式电场传感器在直流或极低频电场作用下电光晶体材料受电荷积聚影响产生与外部方向相反电场,无法对直流电场准确测量。机械式电场传感器利用机械部件做周期性旋转或振动可将难以观测的直流信号调制成易于测量的交流信号,主要包括场磨式传感器和微机电系统(mems)传感器等,其具有测量精度高,测量范围广等特性。然而其机械部件易损坏,严重影响其使用寿命,且mems电场传感器受制造工艺和生产成本限制难以大规模开发应用。另外,目前的电子式传感器在电场测量领域起步较晚,由于其电容值容易饱和,出现非线性区域,导致线性范围较窄。


技术实现思路

1、基于此,有必要针对上述技术问题,提供一种直流电场传感器,能够提供优良的直流响应线性度。...

【技术保护点】

1.一种直流电场传感器,其特征在于,包括:交流信号调制单元、固态电子器件、直流电场感应电极、隔直电容和信号采集单元;

2.根据权利要求1所述的直流电场传感器,其特征在于,所述固态电子器件包括:第一器件;所述第一器件的第一端与所述交流信号调制单元连接;所述第一器件的第二端与所述固态电子器件的第一端连接;所述第一器件包括:电阻、电容或电感器件中的任意一项。

3.根据权利要求1所述的直流电场传感器,其特征在于,所述固态电子器件包括第二器件;所述第二器件的第一端与所述固态电子器件的第二端连接;所述第二器件的第二端与所述隔直电容连接;所述第二器件包括:电阻、电容或电感器件中...

【技术特征摘要】

1.一种直流电场传感器,其特征在于,包括:交流信号调制单元、固态电子器件、直流电场感应电极、隔直电容和信号采集单元;

2.根据权利要求1所述的直流电场传感器,其特征在于,所述固态电子器件包括:第一器件;所述第一器件的第一端与所述交流信号调制单元连接;所述第一器件的第二端与所述固态电子器件的第一端连接;所述第一器件包括:电阻、电容或电感器件中的任意一项。

3.根据权利要求1所述的直流电场传感器,其特征在于,所述固态电子器件包括第二器件;所述第二器件的第一端与所述固态电子器件的第二端连接;所述第二器件的第二端与所述隔直电容连接;所述第二器件包括:电阻、电容或电感器件中的任意一项。

4.根据权利要求1所述的直流电场传感器,其特征在于,所述固态电子器件包括第三器件;所述第三器件的第一端与所述固态电子器件的第三端连接,所述第三器件的第二端与所述接地端连接;所述第三器件包括:电阻、电容或电感器件中的任意一项;

5.根据权利要求1所述的直流电场传感器,其特征在于,所述固态电子器件包括:反并...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴世林胡军刘新霆马浩宇毕然潘石张汇泉张波何金良李勇李笋张用李文博
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:

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