光学式位移计制造技术

提供一种光学式位移计，在通过使投光受光系统摆动来测定位移的情况下，能够输出高度图像、受光图像。光学式位移计(1)具备：投光受光模块(10)；马达(20)，其使投光受光模块(10)摆动；马达控制部(30)，其对马达(20)进行控制，来使投光受光模块(10)摆动，从而使狭缝光进行扫描；旋转角度获取部(36)，其获取通过马达(20)实现的旋转角度；信号处理部(32)，其基于由图像传感器(13a)输出的受光量分布来计算UV坐标，并基于规定的变换条件来将UV坐标和旋转角度变换为XYZ坐标；以及高度图像输出部(37)，其基于XYZ坐标来输出表示XY平面上的工件的高度的高度图像。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种利用光来测定工件的位移的光学式位移计。

技术介绍

1、作为光学式位移计，已知如以下那样构成的光学式位移计：例如向工件照射沿x方向延展的狭缝光，并接收被工件的表面反射而得到的反射光，由此能够获取xz截面轮廓。通过获取工件的y方向上的不同位置处的多个xz截面轮廓，能够生成工件的三维形状的数据，但是在该情况下，需要用于将工件沿y方向搬送的输送机、用于使位移计主体相对于工件沿y方向移动的直动机构等设备，有时难以导入。

2、与此相对地，已知例如专利文献1、2那样能够旋转地构成用于投射狭缝光的投光系统和用于接收反射光的受光系统(合起来称为投光受光系统)、并使投光受光系统摆动使得狭缝光能够对工件在y方向上进行扫描的构造。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：欧洲专利公开第3232152号

6、专利文献2：中国技术登记第210664364号

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、在上述专利文献1、2中，能够通过一边使投光受本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学式位移计，具备：

2.根据权利要求1所述的光学式位移计，其中，

3.根据权利要求2所述的光学式位移计，其中，

4.根据权利要求2所述的光学式位移计，其中，

5.根据权利要求4所述的光学式位移计，其中，

6.根据权利要求4所述的光学式位移计，其中，

7.根据权利要求6所述的光学式位移计，其中，

8.根据权利要求6所述的光学式位移计，其中，

9.根据权利要求7所述的光学式位移计，其中，

10.根据权利要求7所述的光学式位移计，其中，

11.根据权利要求1所述的光...

【技术特征摘要】

1.一种光学式位移计，具备：

2.根据权利要求1所述的光学式位移计，其中，

3.根据权利要求2所述的光学式位移计，其中，

4.根据权利要求2所述的光学式位移计，其中，

5.根据权利要求4所述的光学式位移计，其中，

6.根据权利要求4所述的光学式位移计，其中，

7.根据权利要求6所述的光学式位移计，其中，

8.根据权利要求6所述的光学式位移计，其中，

9.根据权利要求7所述的光学式位移计，其中，

10.根据权利要求7所述的光学式位移...

【专利技术属性】
技术研发人员：冬野明，本间达朗，森泉，须部敦，土田佳孝，
申请(专利权)人：株式会社基恩士，
类型：发明
国别省市：