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光学式位移计制造技术
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文档序号:43370335
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提供一种光学式位移计,在通过使投光受光系统摆动来测定位移的情况下,能够输出高度图像、受光图像。光学式位移计(1)具备:投光受光模块(10);马达(20),其使投光受光模块(10)摆动;马达控制部(30),其对马达(20)进行控制,来使投光受...
该专利属于株式会社基恩士所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社基恩士授权不得商用。
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