一种用于MEMS麦克风的电荷泵电路制造技术

本发明专利技术涉及电荷泵技术领域，公开了一种用于MEMS麦克风的电荷泵电路，包括并联设置的第一升压支路和第二升压支路；第一升压支路和第二升压支路上均包括M个依次串联的单向导电单元，每个单向导电单元的导向输出端分别电连接有第一电容；本发明专利技术通过设置两路并联的第一升压支路和第二升压支路，这样可以交替控制第一升压支路和第二升压支路来进行升压，从而可以实现全周期升压；另外通过设置单向导电单元以及让单向导电单元的导向输出端电连接第三电容，这样通过设置单向导电单元的数量可以实现不同倍数的电压放大，从而使本发明专利技术能够提供电压可调且能全周期输出电压。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电荷泵，具体涉及一种用于mems麦克风的电荷泵电路。

技术介绍

1、mems麦克风，一种声音记录和语音识别的装置，被广泛的应用于智能手机、平板和智能音箱等电子产品中。对于mems麦克风来说，其灵敏度至关重要，而mems麦克风的灵敏度取决于电学灵敏度和机械灵敏度，而电学灵敏度与mems麦克风的偏置电压成正比。

2、在实际操作过程中，如果提高偏置电压来提高mems麦克风的灵敏度会增加电路的使用功耗，而且偏置电压也会受吸合电压的限制而不能任意增大。

3、另外mems麦克风的偏置电压由电荷泵提供，对于传统dickson结构的电荷泵，当电荷泵节点电压逐渐升高时，受衬底偏置效应和阈值电压影响，升压效率变低；

4、另外对于基于dickson电荷泵的衬底动态连接型电荷泵、动态电荷传输开关型电荷泵和四相时钟电荷泵，在实际使用时，衬底动态连接型电荷泵依然有阈值电压问题；动态电荷传输开关型电荷泵存在泄漏电流问题，从而损失功耗和影响效率；四相时钟电荷泵虽然解决了阈值电压、衬偏效应和泄露电流等问题，但是仍未解决电荷传输仅在半个周期内本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于MEMS麦克风的电荷泵电路，其特征在于，包括并联设置的第一升压支路和第二升压支路；所述第一升压支路和第二升压支路上均包括M个依次串联的单向导电单元，M为大于1的正整数；所述单向导电单元包括导向输入端、导向输出端和控制信号输入端，所述串联为当前级的单向导电单元的导向输出端与下一级的单向导电单元的导向输入端电连接，所述控制信号输入端用于输入控制信号，所述控制信号用于控制单向导电单元是否导通；每个单向导电单元的导向输出端分别电连接有第一电容，所述第一电容未与所述单向导电单元电连接的一端用于输入充放电信号。

2.根据权利要求1所述的一种用于MEMS麦克风的电荷泵电路，其特...

【技术特征摘要】

1.一种用于mems麦克风的电荷泵电路，其特征在于，包括并联设置的第一升压支路和第二升压支路；所述第一升压支路和第二升压支路上均包括m个依次串联的单向导电单元，m为大于1的正整数；所述单向导电单元包括导向输入端、导向输出端和控制信号输入端，所述串联为当前级的单向导电单元的导向输出端与下一级的单向导电单元的导向输入端电连接，所述控制信号输入端用于输入控制信号，所述控制信号用于控制单向导电单元是否导通；每个单向导电单元的导向输出端分别电连接有第一电容，所述第一电容未与所述单向导电单元电连接的一端用于输入充放电信号。

2.根据权利要求1所述的一种用于mems麦克风的电荷泵电路，其特征在于，所述第一升压支路和第二升压支路的并联输出端电连接有低通滤波器。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于mems麦克风的电荷泵电路，其特征在于，所述单向导电单元包括mos管m1、mos管m2、mos管m3、电容c1和电容c2；所述mos管m1的源极用于输入电压vd，为所述导向输入端；所述mos管m1的栅极分别与mos管m2的漏极、mos管m3的栅极和电容c2一端电连接，mos管m2的栅极与电容c1一端电连接，电容c1另一端和电容c2另一端分别为所述控制信号输入端，所述mos管m1的漏极分别与mos管m2的源极、mos管m3的源极和第一电容一端电连接，为所述导向输出端。

4.根据权利要求3所述的一种用于mems麦克风的电荷泵电路，其特征在于，所述mos管m1、mos管m2和mos管m3均为pmos管。

5.根据权利要求3所述的一种用于mems麦克风的电荷泵电路，其特征在于，对于第一升压支路和第二升压支路，沿单向导电单元的串联方向，将奇数位的单向导电单元为前单向导电单元，将偶数位的单向导电单元作为后单向导电单元；所述前单向导电单元的电容c2另一端用于输入时钟控制信号clk2，所述前单向导电单元的电容c1另一端用于输入时钟控制信号clk1，所述前单向导电单元的导向输出端电连接的第一电容输入的充放电信号为时钟控制信号clk3；所述后单向导电单元的电容c2另一端用于输入时钟控制信号clk5，所述后单向导电单元的电容c1另一端用于输入时钟控制信号clk4，所述后单向导电单元的导向输出端电连接的第一电容输入的充放电信号为时钟控制信号clk6。

6.根据权利要求5所述的一种用于mems麦克风的电荷泵电路，其特征在于，所述时钟控制信号clk1与时钟控制信号clk6为相同的时钟信号；所述时钟控制信号clk3和时钟控制信号clk4为相同的时钟信号；所述时钟控制信号clk1、时钟控制信号clk2、时钟控制信号clk3和时钟控制信号clk5互为两相不交叠的时钟信号。

7.根据权利要求6所述的一种用于mems麦克风的电荷泵电路，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：戚祎，赵海，臧海桦，汤海洋，
申请(专利权)人：江苏集萃智能集成电路设计技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：