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本发明涉及电荷泵技术领域，公开了一种用于MEMS麦克风的电荷泵电路，包括并联设置的第一升压支路和第二升压支路；第一升压支路和第二升压支路上均包括M个依次串联的单向导电单元，每个单向导电单元的导向输出端分别电连接有第一电容；本发明通过设置两路...该专利属于江苏集萃智能集成电路设计技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃智能集成电路设计技术研究所有限公司授权不得商用。