【技术实现步骤摘要】
本技术涉及高温蒸镀，具体涉及一种保温结构及蒸发源，尤其是一种用于蒸发源顶面的保温结构及蒸发源。
技术介绍
1、目前，在超过1000℃的高温蒸镀环境中，常用的保温材料十分有限，且多由单一材料构成，如碳毡，石墨毡等，这些多孔保温材料保温性能良好，但是在真空蒸镀环境中，由于高温和金属蒸汽的存在，金属蒸汽会对以上材料产生侵蚀，使用后导致其失效，性能和寿命均得不到保障。
2、实际生产中，蒸发源侧面和底部保温比较容易实现，而其上方周边由于蒸镀金属蒸发输运需求，为敞口结构，且敞口附近蒸汽浓度高，无法更好实现保温，由于蒸发器皿高温特点，在真空中通过热辐射成为热量流失严重区域，且散热面正对基材，容易对基材产生热损伤，或间接提高了基材的耐热或冷却需求
3、综上所述，现有技术中存在以下问题：现有的保温结构无法保证蒸发源顶面的保温性能，并且金属蒸汽会对保温材料及切口断面产生侵蚀，严重降低了保温材料的性能和使用寿命。
技术实现思路
1、本技术提供一种用于蒸发源顶面的保温结构及蒸发源，以解决上...
【技术保护点】
1.一种用于蒸发源顶面的保温结构，蒸发源置于蒸发皿(1)上，其特征在于，包括包覆层(2)和保温层(3)，所述包覆层(2)覆盖在所述保温层(3)的表面；所述保温层(3)上设有若干开孔(31)，所述开孔(31)的孔径大于或等于所述蒸发皿(1)的口径；所述保温层(3)内部设有支撑层(4)，所述支撑层(4)设在若干所述开孔(31)之间；所述开孔(31)的断面处设有断面保护装置(32)，所述断面保护装置(32)包裹在所述开孔(31)的断面处。
2.根据权利要求1所述的一种用于蒸发源顶面的保温结构，其特征在于，所述包覆层(2)设在所述保温层(3)的上表面，所述包覆层(...
【技术特征摘要】
1.一种用于蒸发源顶面的保温结构，蒸发源置于蒸发皿(1)上，其特征在于，包括包覆层(2)和保温层(3)，所述包覆层(2)覆盖在所述保温层(3)的表面；所述保温层(3)上设有若干开孔(31)，所述开孔(31)的孔径大于或等于所述蒸发皿(1)的口径；所述保温层(3)内部设有支撑层(4)，所述支撑层(4)设在若干所述开孔(31)之间；所述开孔(31)的断面处设有断面保护装置(32)，所述断面保护装置(32)包裹在所述开孔(31)的断面处。
2.根据权利要求1所述的一种用于蒸发源顶面的保温结构，其特征在于，所述包覆层(2)设在所述保温层(3)的上表面，所述包覆层(2)的厚度小于或等于0.2mm。
3.根据权利要求1所述的一种用于蒸发源顶面的保温结构，其特征在于，所述断面保护装置(32)为陶瓷保护环，所述陶瓷保护环为中空圆柱状，所述陶瓷保护环的孔径和所述开孔(31)的孔径相同。
4.根据权利要求3所述的一种用于蒸发源顶面的保温结构，其特征在于，所述陶瓷保护环的高度大...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，
申请(专利权)人：深圳金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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