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本技术提供了一种用于蒸发源顶面的保温结构及蒸发源,所述用于蒸发源顶面的保温结构包括包覆层和保温层,所述包覆层覆盖在所述保温层的表面;所述保温层上设有若干开孔,所述开孔的孔径大于或等于所述蒸发皿的口径;所述保温层内部设有支撑层,所述支撑层设在...该专利属于深圳金美新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳金美新材料科技有限公司授权不得商用。
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